Научная деятельность
Статьи (18) Подробнее
1 |
Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Федоренко А.Д.
, Шаповалова А.А.
, Хижняк Е.А.
, Косинова М.Л.
Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №8. 130382 . DOI: 10.26902/jsc_id130382 РИНЦ OpenAlex |
2 |
Ermakova E.
, Tsyrendorzhieva I.
, Mareev A.
, Pavlov D.
, Maslova O.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Yushina I.
, Kosinova M.
Carbon-Rich Plasma-Deposited Silicon Oxycarbonitride Films Derived from 4-(Trimethylsilyl)morpholine as a Novel Single-Source Precursor ChemPlusChem. 2024. V.89. e202400094 :1-13. DOI: 10.1002/cplu.202400094 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
3 |
Ermakova E.
, Shayapov V.
, Saraev A.
, Maximovsky E.
, Kirienko V.
, Khomyakov M.
, Sulyaeva V.
, Kolodin A.
, Gerasimov E.
, Kosinova M.
Effect of plasma power on growth process, chemical structure, and properties of PECVD films produced from hexamethyldisilane and ammonia Surface & Coatings Technology. 2024. V.490. 131131 :1-12. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2024.131131 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
4 |
Ermakova E.
, Kolodin A.
, Fedorenko A.
, Yushina I.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Kosinova M.
Controlling of Chemical Bonding Structure, Wettability, Optical Characteristics of SiCN:H (SiC:H) Films Produced by PECVD Using Tetramethylsilane and Ammonia Mixture Coatings. 2023. V.13. N2. 310 :1-22. DOI: 10.3390/coatings13020310 WOS Scopus OpenAlex |
5 |
Ermakova E.
, Sysoev S.
, Tsyrendorzhieva I.
, Mareev A.
, Maslova O.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Yushina I.
, Kosinova M.
1,4-Bis(trimethylsilyl)piperazine—Thermal Properties and Application as CVD Precursor Coatings. 2023. V.13. N6. 1045 :1-23. DOI: 10.3390/coatings13061045 WOS Scopus OpenAlex |
6 |
Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Юшина И.В.
, Косинова М.Л.
CVD-СИНТЕЗ ПЛЕНОК ГРАФИТОПОДОБНОГО НИТРИДА УГЛЕРОДА ИЗ МЕЛАМИНА Журнал неорганической химии. 2023. Т.68. №2. С.256-264. DOI: 10.31857/S0044457X22601547 РИНЦ OpenAlex |
7 |
Ermakova E.N.
, Maksimovskii E.A.
, Yushina I.V.
, Kosinova M.L.
CVD Synthesis of Graphitic Carbon Nitride Films from Melamine Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023. V.68. N2. P.208-215. DOI: 10.1134/s0036023622602252 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
8 |
Ermakova Е.
, Kosinova M.
Organosilicon compounds as single-source precursors for SiCN films production Journal of Organometallic Chemistry. 2022. V.958. 122183 :1-28. DOI: 10.1016/j.jorganchem.2021.122183 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
9 |
Ermakova E.
, Mogilnikov K.
, Asanov I.
, Fedorenko A.
, Yushina I.
, Kichay V.
, Maksimovskiy E.
, Kosinova M.
Chemical Structure, Optical and Dielectric Properties of PECVD SiCN Films Obtained from Novel Precursor Coatings. 2022. V.12. N11. 1767 :1-17. DOI: 10.3390/coatings12111767 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
10 |
Ермакова Е.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Рахлин В.И.
, Косинова М.Л.
Плазмохимический синтез прозрачных диэлектрических пленок Si–C–O–H из триметилфеноксисилана Химия высоких энергий. 2016. Т.50. №3. С.232–235. DOI: 10.7868/S0023119316030098 РИНЦ OpenAlex |
11 |
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Nikolaev R.E.
, Nikulina L.D.
, Lis A.V.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Rakhlin V.I.
, Plyusnin P.E.
, Kosinova M.L.
Thermal properties of some organosilicon precursors for chemical vapor deposition Journal of Thermal Analysis and Calorimetry. 2016. V.126. P.609-616. DOI: 10.1007/s10973-016-5563-y WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
12 |
Меренков И.С.
, Косинова М.Л.
, Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Румянцев Ю.М.
PECVD СИНТЕЗ НАНОСТЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ИЗ СМЕСИ БОРАЗИНА И АММИАКА Неорганические материалы. 2015. Т.51. №11. 1183–1189 :1-7. DOI: 10.7868/S0002337X15100115 РИНЦ OpenAlex |
13 |
Ermakova E.
, Mogilnikov K.
, Rumyantsev Y.
, Kichay V.
, Maximovskii E.
, Semenova O.
, Kosinova M.
Study of Cu diffusion behavior in carbon rich SiCN:H films deposited from trimethylphenylsilane Thin Solid Films. 2015. V.588. P.39-43. DOI: 10.1016/j.tsf.2015.04.058 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
14 |
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Nikulina L.D.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Rakhlin V.I.
, Kosinova M.L.
Synthesis and characterization of organosilicon compounds as novel precursors for CVD processes Thermochimica Acta. 2015. V.622. P.2-8. DOI: 10.1016/j.tca.2015.02.004 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
15 |
Ermakova E.
, Rumyantsev Y.
, Shugarov A.
, Panin A.
, Kosinova M.
PECVD synthesis, optical and mechanical properties of silicon carbon nitride films Applied Surface Science. 2015. V.339. P.102-108. DOI: 10.1016/j.apsusc.2015.02.155 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
16 |
Ермакова Е.Н.
, Кеслер В.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина Журнал структурной химии. 2014. Т.55. №3. С.486-492. |
17 |
Сысоев С.В.
, Никулина Л.Д.
, Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
, Рахлин В.И.
, Цырендоржиева И.П.
, Лис А.В.
, Воронков М.Г.
Et3GeN(SiМе3)2 И Et3SnN(SiМе3)2 – НОВЫЕ ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА ДЛЯ ПРОЦЕССОВ ГАЗОФАЗНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ Неорганические материалы. 2013. Т.49. №4. С.376-380. DOI: 10.7868/s0002337x13040179 РИНЦ OpenAlex |
18 |
Ermakova E.
, Lis A.
, Kosinova M.
, Rumyantsev Y.
, Maximovskii E.
, Rakhlin V.
Bis(trimethylsilyl)Ethylamine: Synthesis, Properties and its use as CVD Precursor Physics Procedia. 2013. V.46. P.209-218. DOI: 10.1016/j.phpro.2013.07.069 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
Доклады на конференциях (1) Подробнее
1 |
Ермакова Е.Н.
, Чагин М.Н.
, Дудкина С.П.
, Шаяпов В.Р.
Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024 |