Синтез пленок TiSiN методом реактивного магнетронного распыления при комнатной температуре Научная публикация
Журнал |
Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X |
||
---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2024, Том: 60, Номер: 2, Страницы: 164-174 Страниц : 11 DOI: 10.31857/S0002337X24020044 | ||
Авторы |
|
||
Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Суляева В.С.
, Сыроквашин М.М.
, Кожевников А.К.
, Ермакова Е.Н.
Синтез пленок TiSiN методом реактивного магнетронного распыления при комнатной температуре
Неорганические материалы. 2024. Т.60. №2. С.164-174. DOI: 10.31857/S0002337X24020044 РИНЦ
Синтез пленок TiSiN методом реактивного магнетронного распыления при комнатной температуре
Неорганические материалы. 2024. Т.60. №2. С.164-174. DOI: 10.31857/S0002337X24020044 РИНЦ
Переводная:
Sulyaeva V.S.
, Syrokvashin M.M.
, Kozhevnikov A.K.
, Ermakova E.N.
Growth of TiSiN Films by Room-Temperature Reactive Magnetron Sputtering
Inorganic Materials. 2024. V.60. N6. P.723-730. DOI: 10.1134/S0020168524700948 WOS OpenAlex
Growth of TiSiN Films by Room-Temperature Reactive Magnetron Sputtering
Inorganic Materials. 2024. V.60. N6. P.723-730. DOI: 10.1134/S0020168524700948 WOS OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: | 6 сент. 2023 г. |
Принята к публикации: | 18 нояб. 2023 г. |
Опубликована в печати: | 5 дек. 2024 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ: | 75199355 |
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований