Sciact
  • EN
  • RU

Синтез пленок TiSiN методом реактивного магнетронного распыления при комнатной температуре Научная публикация

Журнал Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X
Вых. Данные Год: 2024, Том: 60, Номер: 2, Страницы: 164-174 Страниц : 11 DOI: 10.31857/S0002337X24020044
Авторы Суляева В.С. 1 , Сыроквашин М.М. 1 , Кожевников А.К. 1 , Ермакова Е.Н. 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО Российской академии наук, пр. Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090 Россия
Библиографическая ссылка: Суляева В.С. , Сыроквашин М.М. , Кожевников А.К. , Ермакова Е.Н.
Синтез пленок TiSiN методом реактивного магнетронного распыления при комнатной температуре
Неорганические материалы. 2024. Т.60. №2. С.164-174. DOI: 10.31857/S0002337X24020044 РИНЦ
Переводная: Sulyaeva V.S. , Syrokvashin M.M. , Kozhevnikov A.K. , Ermakova E.N.
Synthesis of TiSiN films by reactive magnetron sputtering at room temperature
Inorganic Materials. 2024. P.1.
Даты:
Поступила в редакцию: 6 сент. 2023 г.
Принята к публикации: 18 нояб. 2023 г.
Опубликована в печати: 5 дек. 2024 г.
Идентификаторы БД:
РИНЦ: 75199355
Цитирование в БД: Пока нет цитирований
Альметрики: