Плазмохимический синтез прозрачных диэлектрических пленок Si–C–O–H из триметилфеноксисилана Краткое сообщение

Журнал	Химия высоких энергий ISSN: 0023-1193
Вых. Данные	Год: 2016, Том: 50, Номер: 3, Страницы: 232–235 Страниц : 4 DOI: 10.7868/S0023119316030098
Авторы	Ермакова Е.Н. 1 , Румянцев Ю.М. 1 , Рахлин В.И. 2 , Косинова М.Л. 1
Организации	1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук 2 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Иркутский институт химии им. А.Е. Фаворского Сибирского отделения Российской академии наук