Плазмохимический синтез прозрачных диэлектрических пленок Si–C–O–H из триметилфеноксисилана

Плазмохимический синтез прозрачных диэлектрических пленок Si–C–O–H из триметилфеноксисилана ArticleGenre_short.SHORT_COMMUNICATION

Journal

Химия высоких энергий
ISSN: 0023-1193

Output data

Year: 2016, Volume: 50, Number: 3, Pages: 232–235 Pages count : 4 DOI: 10.7868/S0023119316030098

Authors

Ермакова Е.Н. ¹ , Румянцев Ю.М. ¹ , Рахлин В.И. ² , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук
2	Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Иркутский институт химии им. А.Е. Фаворского Сибирского отделения Российской академии наук

Ермакова Е.Н. , Румянцев Ю.М. , Рахлин В.И. , Косинова М.Л.
Плазмохимический синтез прозрачных диэлектрических пленок Si–C–O–H из триметилфеноксисилана
Химия высоких энергий. 2016. Т.50. №3. С.232–235. DOI: 10.7868/S0023119316030098 РИНЦ OpenAlex

Submitted:	May 22, 2015
Accepted:	Dec 8, 2015

Elibrary:	25922658
OpenAlex:	W2351653579

DB	Citing
OpenAlex	1