1,4-Bis(trimethylsilyl)piperazine—Thermal Properties and Application as CVD Precursor Научная публикация
Журнал |
Coatings
ISSN: 2079-6412 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2023, Том: 13, Номер: 6, Номер статьи : 1045, Страниц : 23 DOI: 10.3390/coatings13061045 | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Информация о финансировании (2)
1 | Российский научный фонд | 23-79-00026 |
2 | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации |
Библиографическая ссылка:
Ermakova E.
, Sysoev S.
, Tsyrendorzhieva I.
, Mareev A.
, Maslova O.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Yushina I.
, Kosinova M.
1,4-Bis(trimethylsilyl)piperazine—Thermal Properties and Application as CVD Precursor
Coatings. 2023. V.13. N6. 1045 :1-23. DOI: 10.3390/coatings13061045 WOS Scopus OpenAlex
1,4-Bis(trimethylsilyl)piperazine—Thermal Properties and Application as CVD Precursor
Coatings. 2023. V.13. N6. 1045 :1-23. DOI: 10.3390/coatings13061045 WOS Scopus OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: | 18 мая 2023 г. |
Опубликована в печати: | 5 июн. 2023 г. |
Идентификаторы БД:
Web of science: | WOS:001014206200001 |
Scopus: | 2-s2.0-85164114863 |
OpenAlex: | W4379468614 |