Sciact
  • EN
  • RU
Profile

Максимовский Евгений Анатольевич

Сотрудник

Научная деятельность

Статьи - 92 , Доклады на конференциях - 2


Статьи (92) Подробнее

1 Shaparenko N.O. , Demidova M.G. , Podlipskaya T.Y. , Maximovsky E.A. , Tatarchuk V.V. , Bulavchenko A.I.
Surface functionalization and characterization of colloidal SiO2 particles with potential application in dyes sorption from aqueous, organic and microemulsion media
Journal of Molecular Liquids. 2025. V.427. 127409 :1-13. DOI: 10.1016/j.molliq.2025.127409 OpenAlex
2 Bulusheva L.G. , Fedoseeva Y.V. , Lavrukhina S.A. , Sysoev V.I. , Maksimovskii E.A. , Makarova A.A. , Okotrub A.V.
Role of graphene substrate in the formation of MoS2-based nanoparticles with improved sensitivity to NO2 gas
Applied Surface Science. 2025. V.679. 161104 :1-12. DOI: 10.1016/j.apsusc.2024.161104 WOS Scopus OpenAlex
3 Bondarenko M.A. , Redkin R.V. , Pilyukova E.A. , Korobeynikov N.A. , Zaguzin A.S. , Rakhmanova M.I. , Guselnikova T.Y. , Maksimovsky E.A. , Fedin V.P. , Adonin S.A.
Lanthanide Heterometallic MOFs with 5-Iodosophthalate Linkers: Tuning of Luminescent Properties by Varying of Metal Composition
Inorganics. 2025. V.13. N5. 154 :1-15. DOI: 10.3390/inorganics13050154 WOS OpenAlex
4 Vorfolomeeva A.A. , Zaguzina A.A. , Maksimovskiy E.A. , Gusel’nikov A.V. , Plyusnin P.E. , Okotrub A.V. , Bulusheva L.G.
Molybdenum Disulfide and Reduced Graphene Oxide Hybrids as Anodes for Low-Temperature Lithium- and Sodium-Ion Batteries
Nanomaterials. 2025. V.15. N11. 824 :1-22. DOI: 10.3390/nano15110824
5 Bannov A.G. , Netskina O.V. , Nikityonok O.V. , Kurmashov P.B. , Golovakhin V. , Ukhina A.V. , Maksimovskii E.A. , Gudyma T.S.
A New Method for Controlling the Synthesis of Graphite Oxide: The Effect of Hydrogen Peroxide
Materials Chemistry and Physics. 2025. V.339. 130745 :1-11. DOI: 10.1016/j.matchemphys.2025.130745 РИНЦ
6 Babashova S.I. , Bocharov V.V. , Sulyaeva V.S. , Maksimovskiy E.A. , Kolodin A.N. , Bulavchenko A.I.
Temperature-Regulated Wettability of Conductive Films Based on Electrophoretic Silver Nanoparticle Concentrates
Colloid Journal. 2025. V.87. N2. P.173-183. DOI: 10.1134/s1061933x24601409 РИНЦ
7 Dorovskikh S.I. , Sukhikh A.S. , Yatygin V.A. , Turgambaeva A.E. , Maximovskiy E.A. , Pishchur D.P. , Vikulova E.S.
Cobalt(II) Complexes with Fluorinated β-Diketones and Their Derivatives for MOCVD Applications
Russian Journal of General Chemistry. 2025. V.95. N3. P.690-703. DOI: 10.1134/s1070363224613292 РИНЦ
8 ГОЛОВАХИН В. , ШИШИН А.А. , ЛОЗБЕНЬ А.Д. , СМАГУЛОВА А.Р. , ГУДЫМА Т.С. , МАКСИМОВСКИЙ Е.А. , КУРМАШОВ П.Б. , БАННОВ А.Г.
НАНЕСЕНИЕ ПЛЕНОК УГЛЕРОДНЫХ НАНОВОЛОКОН ДЛЯ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ NO2
Журнал технической физики. 2025. Т.95. №3. С.529-539. DOI: 10.61011/JTF.2025.03.59859.300-24 РИНЦ
9 Бабашова С.И. , Бочаров В.В. , Суляева В.С. , Максимовский Е.А. , Колодин А.Н. , Булавченко А.И.
ТЕРМОРЕГУЛИРУЕМАЯ СМАЧИВАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ ТОКОПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ЭЛЕКТРОФОРЕТИЧЕСКИХ КОНЦЕНТРАТОВ НАНОЧАСТИЦ СЕРЕБРА
Коллоидный журнал. 2025. Т.87. №2. С.89-100. DOI: 10.31857/S0023291225020014 РИНЦ
10 ШИШИН А.А. , ГОЛОВАХИН В. , МАКСИМОВСКИЙ Е.А. , КОНДРАШЕВ Д.О. , ПОПОВ М.В. , БАННОВ А.Г.
Исследование параметров аэрозольного нанесения пленок нановолокнистого углерода
Химия и технология топлив и масел. 2025. №1 (647). С.22-27. DOI: 10.32935/0023-1169-2025-647-1-22-27 РИНЦ
11 Kurmashov P.B. , Golovakhin V. , Ukhina A.V. , Ishchenko A.V. , Ivanova N.M. , Maksimovsky E.A. , Bannov A.G.
Glycine-based solution combustion synthesis of Ni/Al2O3 catalyst: Decomposition of methane
Chemical Engineering Research and Design. 2025. V.216. P.455-472. DOI: 10.1016/j.cherd.2025.02.040 РИНЦ
12 Bannov A.G. , Trubin I.V. , Zakharov I.K. , Maksimovskiy E.A. , Kurmashov P.B.
A Critical Review on Soil Gas Analysis: Modern Technologies and Problems
Agronomy. 2024. V.14. N10. 2374 :1-30. DOI: 10.3390/agronomy14102374 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
13 Ермакова Е.Н. , Максимовский Е.А. , Федоренко А.Д. , Шаповалова А.А. , Хижняк Е.А. , Косинова М.Л.
Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №8. 130382 . DOI: 10.26902/jsc_id130382 РИНЦ OpenAlex
14 Belaya S.V. , Maksimovskiy E.A. , Kolodin A.N. , Shapovalova A.A.
Morphology and Wettability of Hexagonal BCxNy Films Prepared by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Trimethylamine Borane
Nanobiotechnology reports. 2024. V.19. NSuppl. 1. P.S84-S92. DOI: 10.1134/S2635167624600780 WOS OpenAlex
15 Fedoseeva Y.V. , Shlyakhova E.V. , Vorfolomeeva A.A. , Zaguzina A.A. , Fedorenko A.D. , Grebenkina M.A. , Maksimovskii E.A. , Shubin Y.V. , Bulusheva L.G. , Okotrub A.V.
Iron-assisted synthesis of nitrogen-doped carbon material for sodium-ion batteries
Journal of energy storage. 2024. V.98. 113050 :1-13. DOI: 10.1016/j.est.2024.113050 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
16 Шутилов Р.А. , Максимовский Е.А. , Поповецкий П.С. , Корольков И.В. , Гисматулин А.А. , Игуменов И.К.
Процессы формирования покрытий методом импульсного MOCVD в системе ZrO2-HfO2
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №11. 134521 . DOI: 10.26902/JSC_id134521 РИНЦ OpenAlex
17 Чагин М.Н. , Ермакова Е.Н. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Максимовский Е.А. , Юшина И.В. , Косинова М.Л.
Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда
Химия высоких энергий. 2024. Т.58. №6. С.500-507. DOI: 10.31857/S0023119324060112 РИНЦ
18 Tkachenko P. , Topchiyan P. , Berdyugin S. , Tkachev S. , Maximovskiy E. , Sheven D. , Vasilchenko D.
(Me4N)2[Pt(CO3)2(OH)2]: The Isolated PtIVO6 Carbonato-Complex
Inorganic Chemistry. 2024. V.63. N26. P.12042-12053. DOI: 10.1021/acs.inorgchem.4c00909 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
19 Chagin M.N. , Ermakova E.N. , Shayapov V.R. , Sulyaeva V.S. , Yushina I.V. , Maksimovskiy E.A. , Dudkina S.P. , Saraev A.A. , Gerasimov E.Y. , Mogilnikov K.P. , Kolodin A.N. , Kosinova M.L.
SiCx:H and SiCxNy:H Amorphous Films Prepared from Hexamethyldisilane Vapors
Journal of Structural Chemistry. 2024. V.65. N10. P.2041-2057. DOI: 10.1134/s0022476624100147 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
20 Чагин М.Н. , Ермакова Е.Н. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Юшина И.В. , Максимовский Е.А. , Дудкина С.П. , Сараев А.А. , Герасимов Е.Ю. , Могильников К.П. , Колодин А.Н. , Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ SiCx:H и SiCxNy:H, ПОЛУЧЕННЫЕ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАНА
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №10. 134149 . DOI: 10.26902/jsc_id134149 РИНЦ OpenAlex
21 Chagin M.N. , Ermakova E.N. , Shayapov V.R. , Sulyaeva V.S. , Maksimovskii E.A. , Yushina I.V. , Kosinova M.L.
Amorphous SiCx:H and SiCxNy:H Films Obtained from Hexamethyldisilane Vapor in Inductively Coupled RF Discharge Plasma
High Energy Chemistry. 2024. V.58. N6. P.693-698. DOI: 10.1134/S0018143924700565 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
22 Koshcheeva O.S. , Koscheev S.V. , Skiba T.V. , Korolkov I.V. , Maksimovskiy E.A. , Kolodin A.N. , Zubareva A.P.
Preparation of the Ferrous Complex with Cysteine and Its Transformations
Russian Journal of General Chemistry. 2024. V.94. N6. P.1297-1308. DOI: 10.1134/S1070363224060082 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
23 Andryushchenko V.A. , Sorokin D.V. , Betke I.A. , Komlina S.V. , Starinskiy S.V. , Vasiliev M.M. , Maximovskiy E.A. , Khomyakov M.N. , Smovzh D.V.
Control of graphene adhesion to substrate during transfer through liquid
Journal of Molecular Liquids. 2024. V.395. 123827 :1-8. DOI: 10.1016/j.molliq.2023.123827 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
24 Shutilov R.A. , Maksimovskii E.A. , Popovetskiy P.S. , Korolʹkov I.V. , Гисматулин А.А. , Igumenov I.K.
Processes of Coating Formation by Pulsed MOCVD in the ZrO2–HfO2 System.
Journal of Structural Chemistry. 2024. V.65. N11. P.2135–2142. DOI: 10.1134/S0022476624110027 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
25 Ermakova E. , Tsyrendorzhieva I. , Mareev A. , Pavlov D. , Maslova O. , Shayapov V. , Maksimovskiy E. , Yushina I. , Kosinova M.
Carbon-Rich Plasma-Deposited Silicon Oxycarbonitride Films Derived from 4-(Trimethylsilyl)morpholine as a Novel Single-Source Precursor
ChemPlusChem. 2024. V.89. e202400094 :1-13. DOI: 10.1002/cplu.202400094 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
26 Ermakova E. , Shayapov V. , Saraev A. , Maximovsky E. , Kirienko V. , Khomyakov M. , Sulyaeva V. , Kolodin A. , Gerasimov E. , Kosinova M.
Effect of plasma power on growth process, chemical structure, and properties of PECVD films produced from hexamethyldisilane and ammonia
Surface & Coatings Technology. 2024. V.490. 131131 :1-12. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2024.131131 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
27 Ermakova E.N. , Maksimovsky E.A. , Fedorenko A.D. , Shapovalova A.A. , Khizhnyak E.A. , Kosinova M.L.
Synthesis and Analysis of SiBCN Films Obtained by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Triethylaminoborane, Hexamethyldisilazane, and Ammonia
Journal of Structural Chemistry. 2024. V.65. N8. P.1488-1501. DOI: 10.1134/s002247662408002x WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
28 Ермакова Е.Н. , Максимовский Е.А. , Юшина И.В. , Косинова М.Л.
CVD-СИНТЕЗ ПЛЕНОК ГРАФИТОПОДОБНОГО НИТРИДА УГЛЕРОДА ИЗ МЕЛАМИНА
Журнал неорганической химии. 2023. Т.68. №2. С.256-264. DOI: 10.31857/S0044457X22601547 РИНЦ OpenAlex
29 Vikulova E.S. , Karakovskaya K.I. , Korolkov I.V. , Koretskaya T.P. , Chepeleva E.V. , Kuz’min N.B. , Fedorenko A.D. , Pishchur D.P. , Guselnikova T.Y. , Maksimovskii E.A. , Marchenko E.S. , Zheravin A.A. , Morozova N.B.
Application of Biocompatible Noble Metal Film Materials to Medical Implants: TiNi Surface Modification
Coatings. 2023. V.13. N2. 222 . DOI: 10.3390/coatings13020222 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
30 Ermakova E. , Kolodin A. , Fedorenko A. , Yushina I. , Shayapov V. , Maksimovskiy E. , Kosinova M.
Controlling of Chemical Bonding Structure, Wettability, Optical Characteristics of SiCN:H (SiC:H) Films Produced by PECVD Using Tetramethylsilane and Ammonia Mixture
Coatings. 2023. V.13. N2. 310 :1-22. DOI: 10.3390/coatings13020310 WOS Scopus OpenAlex
31 Zamchiy A.O. , Vorobyov Y.V. , Lunev N.A. , Konstantinov V.O. , Sakhapov S.Z. , Maksimovskii E.A. , Baranov E.A.
Kinetics of gold-induced layer exchange crystallization of amorphous silicon suboxide films: Experimental and theoretical study
Journal of Alloys and Compounds. 2023. V.939. 168818 :1-9. DOI: 10.1016/j.jallcom.2023.168818 WOS Scopus OpenAlex
32 Smovzh D.V. , Sakhapov S.Z. , Andryushchenko V.A. , Sorokin D.V. , Betke I.A. , Komlina S.V. , Starinskiy S.V. , Maximovskiy E.A.
STABILITY OF GRAPHENE FILMS ON COPPER, SILICON AND GLASS SUBSTRATES IN CONTACT WITH BOILING WATER
Interfacial phenomena and heat transfer. 2023. V.11. N2. P.1-10. DOI: 10.1615/interfacphenomheattransfer.2023046926 Scopus РИНЦ OpenAlex
33 Vorfolomeeva A.A. , Stolyarova S.G. , Asanov I.P. , Shlyakhova E.V. , Plyusnin P.E. , Maksimovskiy E.A. , Gerasimov E.Y. , Chuvilin A.L. , Okotrub A.V. , Bulusheva L.G.
Single-Walled Carbon Nanotubes with Red Phosphorus in Lithium-Ion Batteries: Effect of Surface and Encapsulated Phosphorus
Nanomaterials. 2023. V.13. N1. 153 :1-18. DOI: 10.3390/nano13010153 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
34 Fedoseeva Y.V. , Shlyakhova E.V. , Vorfolomeeva A.A. , Grebenkina M.A. , Sysoev V.I. , Stolyarova S.G. , Maksimovskiy E.A. , Makarova A.A. , Okotrub A.V. , Bulusheva L.G.
Tuning Nitrogen-Doped Carbon Electrodes via Synthesis Temperature Adjustment to Improve Sodium- and Lithium-Ion Storage
Batteries. 2023. V.9. N1. 45 :1-20. DOI: 10.3390/batteries9010045 WOS Scopus OpenAlex
35 Гудыма Т.С. , Крутский Ю.Л. , Максимовский E.A. , Черкасова Н.Ю. , Лапекин Н.И. , Ларина Т.В.
Синтез композиционных порошковых смесей B4C-TiB2 методом карбидоборного восстановления с использованием нановолокнистого углерода для изготовления керамики
Известия вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. 2023. Т.17. №2. С.35-45. DOI: 10.17073/1997-308x-2023-2-35-45 Scopus РИНЦ OpenAlex
36 Popovetskiy P. , Kasyanov A. , Maximovskiy E. , Plyusnin P.
Electrophoretic mobility of silver nanoparticles stabilized with nonionic surfactant Ecosurf SA4: Origin of charged particles, concentration by electrophoresis and production of conductive coatings
Journal of Molecular Liquids. 2023. V.374. 121273 :1-9. DOI: 10.1016/j.molliq.2023.121273 WOS Scopus OpenAlex
37 Lapekin N.I. , Kurmashov P.B. , Larina T.V. , Chesalov Y.A. , Kurdyumov D.S. , Ukhina A.V. , Maksimovskiy E.A. , Ishchenko A.V. , Sysoev V.I. , Bannov A.G.
Carbon Nanofibers Synthesized at Different Pressures for Detection of NO2 at Room Temperature
Chemosensors. 2023. V.11. N7. 381 :1-17. DOI: 10.3390/chemosensors11070381 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
38 Belaya S.V. , Maksimovsky E.A. , Shayapov V.R. , Shapovalova A.A. , Kolodin A.N. , Saraev A.A. , Asanov I.P. , Khomyakov M.N. , Yushina I.V. , Plekhanov A.G. , Sulyaeva V.S. , Kosinova M.L.
Boron Carbonitride Films with Tunable Composition: LPCVD and PECVD Synthesis Using Trimethylamine Borane and Nitrogen Mixture and Characterization
Applied sciences. 2023. V.13. N8. 4959 :1-27. DOI: 10.3390/app13084959 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
39 Kolodin A.N. , Bulavchenko O.A. , Syrokvashin M.M. , Maksimovskiy E.A. , Bulavchenko A.I.
Conductive silver films with tunable surface properties: thickness, roughness and porosity
Applied Surface Science. 2023. V.629. 157392 :1-10. DOI: 10.1016/j.apsusc.2023.157392 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
40 Ermakova E. , Sysoev S. , Tsyrendorzhieva I. , Mareev A. , Maslova O. , Shayapov V. , Maksimovskiy E. , Yushina I. , Kosinova M.
1,4-Bis(trimethylsilyl)piperazine—Thermal Properties and Application as CVD Precursor
Coatings. 2023. V.13. N6. 1045 :1-23. DOI: 10.3390/coatings13061045 WOS Scopus OpenAlex
41 Golovakhin V. , Kim E.Y. , Novgorodtseva O.N. , Maksimovskiy E.A. , Ukhina A.V. , Ishchenko A.V. , Bannov A.G.
Treatment of Multi-Walled Carbon Nanotubes with Dichromic Acid: Oxidation and Appearance of Intercalation
Membranes. 2023. V.13. N8. 729 . DOI: 10.3390/membranes13080729 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
42 Kurmashov P.B. , Ukhina A.V. , Manakhov A. , Ishchenko A.V. , Maksimovskii E.A. , Bannov A.G.
Solution Combustion Synthesis of Ni/Al2O3 Catalyst for Methane Decomposition: Effect of Fuel
Applied sciences. 2023. V.13. N6. 3962 . DOI: 10.3390/app13063962 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
43 Sedelnikova O.V. , Baskakova K.I. , Bychanok D.S. , Maksimovskiy E.A. , Bulusheva L.G. , Okotrub A.V.
Lowering the percolation threshold when filling polystyrene with surface-functionalized carbon nanohorns
Composites Science and Technology. 2023. V.244. 110294 :1-9. DOI: 10.1016/j.compscitech.2023.110294 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
44 Turgambaeva A.E. , Urkasym kyzy S. , Korolkov I.V. , Maksimovskii E.A. , Syrokvashin M.M. , Stabnikov P.A. , Krisyuk V.V.
Comparative study of thermal behavior of a series beta-diketonate precursors for chemical vapor deposition of lithium-containing films
Vacuum. 2023. V.215. 112359 :1-9. DOI: 10.1016/j.vacuum.2023.112359 WOS Scopus OpenAlex
45 Shayapov V.R. , Bogoslovtseva A.L. , Chepkasov S.Y. , Asanov I.P. , Maksimovskiy E.A. , Kapishnikov A.V. , Mironova M.I. , Lapega A.V. , Geydt P.V.
Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering
Coatings. 2023. V.13. N7. 1281 :1-13. DOI: 10.3390/coatings13071281 WOS Scopus OpenAlex
46 Ermakova E.N. , Maksimovskii E.A. , Yushina I.V. , Kosinova M.L.
CVD Synthesis of Graphitic Carbon Nitride Films from Melamine
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023. V.68. N2. P.208-215. DOI: 10.1134/s0036023622602252 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
47 Morozova M.A. , Osipov A.A. , Maksimovskiy E.A. , Zaikovskii A.V.
Investigation of the stability of nanofluids based on water and carbon nanoparticles synthesized by the electric arc method
E3S web of conferences. 2023. V.459. 08005 :1-6. DOI: 10.1051/e3sconf/202345908005 Scopus РИНЦ OpenAlex
48 Vasilchenko D. , Tkachenko P. , Tkachev S. , Popovetskiy P. , Komarov V. , Asanova T. , Asanov I. , Filatov E. , Maximovskiy E. , Gerasimov E. , Zhurenok A. , Kozlova E.
Sulfuric Acid Solutions of [Pt(OH)4(H2O)2]: A Platinum Speciation Survey and Hydrated Pt(IV) Oxide Formation for Practical Use
Inorganic Chemistry. 2022. V.61. N25. P.9667-9684. DOI: 10.1021/acs.inorgchem.2c01134 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
49 Ermakova E. , Mogilnikov K. , Asanov I. , Fedorenko A. , Yushina I. , Kichay V. , Maksimovskiy E. , Kosinova M.
Chemical Structure, Optical and Dielectric Properties of PECVD SiCN Films Obtained from Novel Precursor
Coatings. 2022. V.12. N11. 1767 :1-17. DOI: 10.3390/coatings12111767 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
50 Zvereva V.V. , Asanov I.P. , Yusenko K.V. , Zadesenec A.V. , Plyusnin P.E. , Gerasimov E.Y. , Maksimovskiy E.A. , Korenev S.V. , Asanova T.I.
Local atomic and electronic structure of Pt-Os nanoplates and nanofibers derived from the single-source precursor (NH4)2[Pt0.5Os0.5Cl6]
Journal of Nanoparticle Research. 2022. V.24. N1. 5 :1-23. DOI: 10.1007/s11051-021-05378-z WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Доклады на конференциях (2) Подробнее

1 Крисюк В.В. , Уркасым кызы С. , Корольков И.В. , Максимовский Е.А. , Доровских С.И.
Химическое осаждение из газовой фазы тонкопленочных катодных материалов для литиевых микробатарей
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
2 Плеханов А.Г. , Максимовский Е.А. , Корольков И.В. , Лавров А.Н.
Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024