Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота - Доклады на конференциях

Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024 , Новосибирск

Авторы

Плеханов Александр Георгиевич ¹ , Максимовский Евгений Анатольевич ¹ , Корольков Илья Викторович ¹ , Лавров Александр Николаевич ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Плеханов А.Г. , Максимовский Е.А. , Корольков И.В. , Лавров А.Н.
Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024