Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота - Conference attendances

Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 Feb 2024 , Новосибирск

Authors

Plekhanov Aleksandr Georgievich ¹ , Maksimovskii Evgenii Anatolʹevich ¹ , Korolʹkov Ilʹya Viktorovich ¹ , Lavrov Aleksandr Nikolaevich ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Плеханов А.Г. , Максимовский Е.А. , Корольков И.В. , Лавров А.Н.
Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024