Научная деятельность

Статьи (14) Подробнее

1	Belaya S.V. , Maksimovsky E.A. , Shayapov V.R. , Shapovalova A.A. , Kolodin A.N. , Saraev A.A. , Asanov I.P. , Khomyakov M.N. , Yushina I.V. , Plekhanov A.G. , Sulyaeva V.S. , Kosinova M.L. Boron Carbonitride Films with Tunable Composition: LPCVD and PECVD Synthesis Using Trimethylamine Borane and Nitrogen Mixture and Characterization Applied sciences. 2023. V.13. N8. 4959 :1-27. DOI: 10.3390/app13084959 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
2	Plekhanov A.G. , Maksimovskiy E.A. , Kriventsov V.V. , Korolkov I.V. , Saraev A.A. , Lavrov A.N. , Grebenkina M.A. , Kolodin A.N. , Trunova V.A. Composition, structure, and magnetic properties of SiCxNyFez films produced by the PECVD method from a gas mixture of 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane, ferrocene, and helium Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects. 2022. V.655. P.130333. DOI: 10.1016/j.colsurfa.2022.130333 WOS Scopus OpenAlex
3	Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Pushkarev R.V. , Shayapov V.R. , Maksimovskiy E.A. , Nadolinny V.A. , Korotaev E.V. , Kaichev V.V. SYNTHESIS OF MAGNETIC NANOCOMPOSITE FILMS SiCxNyFez BY PLASMA-ENHANCED CHEMICAL DECOMPOSITION OF A GASEOUS MIXTURE OF 1,1,1,3,3,3-HEXAMETHYLDISILAZANE, FERROCENE, AND HELIUM Journal of Structural Chemistry. 2020. V.61. P.1865–1875. DOI: 10.1134/S0022476620120045 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
4	Плеханов А.Г. , Файнер Н.И. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р. , Юшина И.В. , Хомяков М.Н. ПОЛУЧЕНИЕ ВЫСОКОПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК SiCxNyOz:H ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ ГАЗОВОЙ СМЕСИ 1,1,3,3,5,5-ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА, КИСЛОРОДА И АЗОТА Журнал общей химии. 2019. Т.89. №11. С.1786-1791. DOI: 10.1134/S0044460X19110209 РИНЦ OpenAlex
5	Plekhanov A.G. , Fainer N.I. , Maksimovskiy E.A. , Shayapov V.R. , Yushina I.V. , Khomyakov M.N. Synthesis of Highly Transparent SiCxNyOz:H Films via Plasma-Chemical Decomposition of 1,1,3,3,5,5-Hexamethylcyclotrisilazane, Oxygen, and Nitrogen Gas Mixture Russian Journal of General Chemistry. 2019. V.89. N11. P.2290-2294. DOI: 10.1134/S1070363219110203 WOS Scopus OpenAlex
6	Суляева В.С. , Плеханов А.Г. , Максимовский Е.А. , Файнер Н.И. , Румянцев Ю.М. , Косинова М.Л. Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии Физикохимия поверхности и защита материалов. 2017. V.53. N6. P.662-666. DOI: 10.7868/s0044185617060225 РИНЦ OpenAlex
7	Sulyaeva V.S. , Plekhanov A.G. , Maksimovskii E.A. , Fainer N.I. , Rumyantsev Y.M. , Kosinova M.L. Characterization of Thin Boron and Silicon Carbonitride Films by Wavelength Dispersive Spectroscopy Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2017. V.53. N6. P.1187–1191. DOI: 10.1134/S2070205117060211 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
8	Файнер Н.И. , Плеханов А.Г. , Голубенко А.Н. , Румянцев Ю.М. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р. Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния Журнал структурной химии. 2017. Т.58. №1. С.125-132. DOI: 10.15372/JSC20170118 OpenAlex
9	Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Golubenko A.N. , Rumyantsev Y.M. , Maksimovskii E.A. , Shayapov V.R. STRUCTURE AND ELEMENTAL COMPOSITION OF TRANSPARENT NANOCOMPOSITE SILICON OXYCARBONITRIDE FILMS Journal of Structural Chemistry. 2017. V.58. N1. P.119-125. DOI: 10.1134/S0022476617010188 WOS Scopus OpenAlex
10	Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Golubenko A.N. , Rumyantsev Y.M. , Rakhlin V.I. , Maximovski E.A. , Shayapov V.R. PECVD Synthesis of Silicon Carbonitride Layers Using Methyltris(diethylamino)silane as the New Single-Source Precursor ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2015. Т.4. №1. С.N3153-N3163. DOI: 10.1149/2.0201501jss WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
11	Файнер Н.И. , Плеханов А.Г. , Румянцев Ю.М. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р. Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №5. С.749-758. РИНЦ
12	Файнер Н.И. , Плеханов А.Г. , Румянцев Ю.М. , Юшина И.В. , Шаяпов В.Р. , Кичай В.Н. Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №6. С.837-845. РИНЦ
13	Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Rumyantsev Y.M. , Maximovskii E.A. , Shayapov V.R. Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N5. P.570-577. DOI: 10.1134/S1087659614050034 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
14	Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Rumyantsev Y.M. , Yushina I.V. , Shayapov V.R. , Kichai V.N. Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N6. P.643-649. DOI: 10.1134/S1087659614060042 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Доклады на конференциях (1) Подробнее

1	Плеханов А.Г. , Максимовский Е.А. , Корольков И.В. , Лавров А.Н. Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024