Научная деятельность
Статьи (14) Подробнее
| 1 |
Belaya S.V.
, Maksimovsky E.A.
, Shayapov V.R.
, Shapovalova A.A.
, Kolodin A.N.
, Saraev A.A.
, Asanov I.P.
, Khomyakov M.N.
, Yushina I.V.
, Plekhanov A.G.
, Sulyaeva V.S.
, Kosinova M.L.
Boron Carbonitride Films with Tunable Composition: LPCVD and PECVD Synthesis Using Trimethylamine Borane and Nitrogen Mixture and Characterization Applied sciences. 2023. V.13. N8. 4959 :1-27. DOI: 10.3390/app13084959 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
| 2 |
Plekhanov A.G.
, Maksimovskiy E.A.
, Kriventsov V.V.
, Korolkov I.V.
, Saraev A.A.
, Lavrov A.N.
, Grebenkina M.A.
, Kolodin A.N.
, Trunova V.A.
Composition, structure, and magnetic properties of SiCxNyFez films produced by the PECVD method from a gas mixture of 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane, ferrocene, and helium Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects. 2022. V.655. P.130333. DOI: 10.1016/j.colsurfa.2022.130333 WOS Scopus OpenAlex |
| 3 |
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Pushkarev R.V.
, Shayapov V.R.
, Maksimovskiy E.A.
, Nadolinny V.A.
, Korotaev E.V.
, Kaichev V.V.
SYNTHESIS OF MAGNETIC NANOCOMPOSITE FILMS SiCxNyFez BY PLASMA-ENHANCED CHEMICAL DECOMPOSITION OF A GASEOUS MIXTURE OF 1,1,1,3,3,3-HEXAMETHYLDISILAZANE, FERROCENE, AND HELIUM Journal of Structural Chemistry. 2020. V.61. P.1865–1875. DOI: 10.1134/S0022476620120045 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
| 4 |
Плеханов А.Г.
, Файнер Н.И.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Юшина И.В.
, Хомяков М.Н.
ПОЛУЧЕНИЕ ВЫСОКОПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК SiCxNyOz:H ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ ГАЗОВОЙ СМЕСИ 1,1,3,3,5,5-ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА, КИСЛОРОДА И АЗОТА Журнал общей химии. 2019. Т.89. №11. С.1786-1791. DOI: 10.1134/S0044460X19110209 РИНЦ OpenAlex |
| 5 |
Plekhanov A.G.
, Fainer N.I.
, Maksimovskiy E.A.
, Shayapov V.R.
, Yushina I.V.
, Khomyakov M.N.
Synthesis of Highly Transparent SiCxNyOz:H Films via Plasma-Chemical Decomposition of 1,1,3,3,5,5-Hexamethylcyclotrisilazane, Oxygen, and Nitrogen Gas Mixture Russian Journal of General Chemistry. 2019. V.89. N11. P.2290-2294. DOI: 10.1134/S1070363219110203 Scopus OpenAlex |
| 6 |
Суляева В.С.
, Плеханов А.Г.
, Максимовский Е.А.
, Файнер Н.И.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии Физикохимия поверхности и защита материалов. 2017. V.53. N6. P.662-666. DOI: 10.7868/s0044185617060225 РИНЦ OpenAlex |
| 7 |
Sulyaeva V.S.
, Plekhanov A.G.
, Maksimovskii E.A.
, Fainer N.I.
, Rumyantsev Y.M.
, Kosinova M.L.
Characterization of Thin Boron and Silicon Carbonitride Films by Wavelength Dispersive Spectroscopy Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2017. V.53. N6. P.1187–1191. DOI: 10.1134/S2070205117060211 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
| 8 |
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Голубенко А.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния Журнал структурной химии. 2017. Т.58. №1. С.125-132. DOI: 10.15372/JSC20170118 OpenAlex |
| 9 |
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Maksimovskii E.A.
, Shayapov V.R.
STRUCTURE AND ELEMENTAL COMPOSITION OF TRANSPARENT NANOCOMPOSITE SILICON OXYCARBONITRIDE FILMS Journal of Structural Chemistry. 2017. V.58. N1. P.119-125. DOI: 10.1134/S0022476617010188 Scopus OpenAlex |
| 10 |
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Rakhlin V.I.
, Maximovski E.A.
, Shayapov V.R.
PECVD Synthesis of Silicon Carbonitride Layers Using Methyltris(diethylamino)silane as the New Single-Source Precursor ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2015. Т.4. №1. С.N3153-N3163. DOI: 10.1149/2.0201501jss WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
| 11 |
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №5. С.749-758. РИНЦ |
| 12 |
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Юшина И.В.
, Шаяпов В.Р.
, Кичай В.Н.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №6. С.837-845. РИНЦ |
| 13 |
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Maximovskii E.A.
, Shayapov V.R.
Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N5. P.570-577. DOI: 10.1134/S1087659614050034 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
| 14 |
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Yushina I.V.
, Shayapov V.R.
, Kichai V.N.
Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N6. P.643-649. DOI: 10.1134/S1087659614060042 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
Доклады на конференциях (1) Подробнее
| 1 |
Плеханов А.Г.
, Максимовский Е.А.
, Корольков И.В.
, Лавров А.Н.
Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024 |