Sciact
  • EN
  • RU

Boron Carbonitride Films with Tunable Composition: LPCVD and PECVD Synthesis Using Trimethylamine Borane and Nitrogen Mixture and Characterization Научная публикация

Журнал Applied sciences
ISSN: 2076-3417
Вых. Данные Год: 2023, Том: 13, Номер: 8, Номер статьи : 4959, Страниц : 27 DOI: 10.3390/app13084959
Авторы Belaya Svetlana V. 1 , Maksimovsky Eugene A. 1 , Shayapov Vladimir R. 1 , Shapovalova Aleksandra A. 1 , Kolodin Alexey N. 1 , Saraev Andrey A. 2 , Asanov Igor P. 1 , Khomyakov Maxim N. 3 , Yushina Irina V. 1 , Plekhanov Aleksandr G. 1 , Sulyaeva Veronica S. 1 , Kosinova Marina L. 1
Организации
1 Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry SB RAS, 3, Acad. Lavrentiev Ave., Novosibirsk 630090, Russia
2 Boreskov Institute of Catalysis SB RAS, 5, Acad. Lavrentiev Ave., Novosibirsk 630090, Russia
3 Institute of Laser Physics SB RAS, 15B, Acad. Lavrentiev Ave., Novosibirsk 630090, Russia

Информация о финансировании (1)

1 Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 121031700314-5
Библиографическая ссылка: Belaya S.V. , Maksimovsky E.A. , Shayapov V.R. , Shapovalova A.A. , Kolodin A.N. , Saraev A.A. , Asanov I.P. , Khomyakov M.N. , Yushina I.V. , Plekhanov A.G. , Sulyaeva V.S. , Kosinova M.L.
Boron Carbonitride Films with Tunable Composition: LPCVD and PECVD Synthesis Using Trimethylamine Borane and Nitrogen Mixture and Characterization
Applied sciences. 2023. V.13. N8. 4959 :1-27. DOI: 10.3390/app13084959 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 10 мар. 2023 г.
Опубликована в печати: 14 апр. 2023 г.
Идентификаторы БД:
Web of science: WOS:000977755200001
Scopus: 2-s2.0-85156172523
РИНЦ: 54387378
OpenAlex: W4365509100
Цитирование в БД:
БД Цитирований
OpenAlex 2
Web of science 2
Scopus 2
РИНЦ 2
Альметрики: