Научная деятельность
Статьи (83) Подробнее
1 |
Чагин М.Н.
, Ермакова Е.Н.
, Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Юшина И.В.
, Косинова М.Л.
Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда Химия высоких энергий. 2024. С.535–542. |
2 |
Chagin M.N.
, Ermakova E.N.
, Shayapov V.R.
, Sulyaeva V.S.
, Yushina I.V.
, Maksimovskiy E.A.
, Dudkina S.P.
, Saraev A.A.
, Gerasimov E.Y.
, Mogilnikov K.P.
, Kolodin A.N.
, Kosinova M.L.
SiCx:H and SiCxNy:H Amorphous Films Prepared from Hexamethyldisilane Vapors Journal of Structural Chemistry. 2024. V.65. N10. P.2041-2057. DOI: 10.1134/s0022476624100147 |
3 |
Чагин М.Н.
, Ермакова Е.Н.
, Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Юшина И.В.
, Максимовский Е.А.
, Дудкина С.П.
, Сараев А.А.
, Герасимов Е.Ю.
, Могильников К.П.
, Колодин А.Н.
, Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ SiCx:H и SiCxNy:H, ПОЛУЧЕННЫЕ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАНА Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №10. 134149 . DOI: 10.26902/jsc_id134149 РИНЦ OpenAlex |
4 |
Chagin M.N.
, Ermakova E.N.
, Shayapov V.R.
, Sulyaeva V.S.
, Maksimovskii E.A.
, Yushina I.V.
, Kosinova M.L.
Amorphous SiCx:H and SiCxNy:H Films Obtained from Hexamethyldisilane Vapor in Inductively Coupled RF Discharge Plasma High Energy Chemistry. 2024. V.58. N6. P.693-698. DOI: 10.1134/S0018143924700565 Scopus РИНЦ OpenAlex |
5 |
Ermakova E.
, Tsyrendorzhieva I.
, Mareev A.
, Pavlov D.
, Maslova O.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Yushina I.
, Kosinova M.
Carbon-Rich Plasma-Deposited Silicon Oxycarbonitride Films Derived from 4-(Trimethylsilyl)morpholine as a Novel Single-Source Precursor ChemPlusChem. 2024. V.89. e202400094 :1-13. DOI: 10.1002/cplu.202400094 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
6 |
Ermakova E.
, Shayapov V.
, Saraev A.
, Maximovsky E.
, Kirienko V.
, Khomyakov M.
, Sulyaeva V.
, Kolodin A.
, Gerasimov E.
, Kosinova M.
Effect of plasma power on growth process, chemical structure, and properties of PECVD films produced from hexamethyldisilane and ammonia Surface & Coatings Technology. 2024. V.490. 131131 :1-12. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2024.131131 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
7 |
Суляева В.С.
, Шаяпов В.Р.
, Сыроквашин М.М.
, Кожевников А.К.
, Косинова М.Л.
Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №12. 121572 :1-13. DOI: 10.26902/jsc_id121572 РИНЦ OpenAlex |
8 |
Ermakova E.
, Kolodin A.
, Fedorenko A.
, Yushina I.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Kosinova M.
Controlling of Chemical Bonding Structure, Wettability, Optical Characteristics of SiCN:H (SiC:H) Films Produced by PECVD Using Tetramethylsilane and Ammonia Mixture Coatings. 2023. V.13. N2. 310 :1-22. DOI: 10.3390/coatings13020310 WOS Scopus OpenAlex |
9 |
Sulyaeva V.S.
, Shayapov V.R.
, Syrokvashin M.M.
, Kozhevnikov A.K.
, Kosinova M.L.
Nano-Sized Copper Films Prepared by Magnetron Sputtering Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N12. P.2438-2450. DOI: 10.1134/s0022476623120156 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
10 |
Belaya S.V.
, Maksimovsky E.A.
, Shayapov V.R.
, Shapovalova A.A.
, Kolodin A.N.
, Saraev A.A.
, Asanov I.P.
, Khomyakov M.N.
, Yushina I.V.
, Plekhanov A.G.
, Sulyaeva V.S.
, Kosinova M.L.
Boron Carbonitride Films with Tunable Composition: LPCVD and PECVD Synthesis Using Trimethylamine Borane and Nitrogen Mixture and Characterization Applied sciences. 2023. V.13. N8. 4959 :1-27. DOI: 10.3390/app13084959 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
11 |
Shentseva I.A.
, Usoltsev A.N.
, Korobeynikov N.A.
, Sukhikh T.S.
, Shayapov V.R.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
Copper- and Silver-Containing Heterometallic Iodobismuthates: Features of Thermochromic Behavior International Journal of Molecular Sciences. 2023. V.24. N8. 7234 :1-12. DOI: 10.3390/ijms24087234 WOS Scopus OpenAlex |
12 |
Ermakova E.
, Sysoev S.
, Tsyrendorzhieva I.
, Mareev A.
, Maslova O.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Yushina I.
, Kosinova M.
1,4-Bis(trimethylsilyl)piperazine—Thermal Properties and Application as CVD Precursor Coatings. 2023. V.13. N6. 1045 :1-23. DOI: 10.3390/coatings13061045 WOS Scopus OpenAlex |
13 |
Shayapov V.R.
, Bogoslovtseva A.L.
, Chepkasov S.Y.
, Asanov I.P.
, Maksimovskiy E.A.
, Kapishnikov A.V.
, Mironova M.I.
, Lapega A.V.
, Geydt P.V.
Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering Coatings. 2023. V.13. N7. 1281 :1-13. DOI: 10.3390/coatings13071281 WOS Scopus OpenAlex |
14 |
Chagin M.N.
, Sulyaeva V.S.
, Shayapov V.R.
, Kolodin A.N.
, Khomyakov M.N.
, Yushina I.V.
, Kosinova M.L.
Synthesis, Properties and Aging of ICP-CVD SiCxNy:H Films Formed from Tetramethyldisilazane Coatings. 2022. V.12. N1. 80 :1-26. DOI: 10.3390/coatings12010080 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
15 |
Shayapov V.R.
, Kichai V.N.
, Yakovkina L.V.
, Korolkov I.V.
CRYSTAL TEXTURE AND MECHANICAL STRESSES IN VO2 FILMS OBTAINED BY MOCVD Journal of Structural Chemistry. 2022. V.63. N2. P.235-241. DOI: 10.1134/s0022476622020044 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
16 |
Shentseva I.A.
, Usoltsev A.N.
, Abramov P.A.
, Shayapov V.R.
, Korobeynikov N.A.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
Copper- and silver-containing heterometallic iodobismuthates(iii) with 4-(dimethylamino)-1-methylpyridinium cation: structures, thermal stability and optical properties Mendeleev Communications. 2022. V.32. N6. P.754-756. DOI: 10.1016/j.mencom.2022.11.015 WOS Scopus OpenAlex |
17 |
Korobeynikov N.A.
, Usoltsev A.N.
, Sukhikh T.S.
, Shayapov V.R.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
Isostructural hybrid iodometalate(III)/triiodide salts with perovskite-like packing: comparison of physical properties for SbIII and BiIII complexes Mendeleev Communications. 2022. V.32. N4. P.517-519. DOI: 10.1016/j.mencom.2022.07.028 WOS Scopus OpenAlex |
18 |
Shayapov V.R.
, Zakharchenko K.V.
, Kapustin V.I.
, Merenkov I.S.
, Khomyakov M.N.
, Maksimivskiy E.A.
Hardness and Strengthening Effect of Low-Pressure Chemical Vapor Deposition BCxNy Coatings Deposited on Ti-6Al-4V Alloy Journal of Materials Engineering and Performance. 2022. V.31. P.3792-3798. DOI: 10.1007/s11665-021-06463-z Scopus OpenAlex |
19 |
Usol’tsev A.N.
, Shentseva I.A.
, Shayapov V.R.
, Plyusnin P.E.
, Korol’kov I.V.
, Abramov P.A.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
Iodide Bismuth(III) Complexes with 1-Ethyl-3-methylpyridinium: Structure, Thermal Stability, and Optical Properties Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2022. V.67. N12. P.1979-1986. DOI: 10.1134/s0036023622601647 WOS Scopus OpenAlex |
20 |
Shentseva I.A.
, Usoltsev A.N.
, Abramov P.A.
, Shayapov V.R.
, Plyusnin P.E.
, Korolkov I.V.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
Homo- and heterometallic iodobismuthates(III) with 1,3,5-trimethylpyridinium cation: Preparation and features of optical behavior Polyhedron. 2022. V.216. 115720 :1-6. DOI: 10.1016/j.poly.2022.115720 WOS Scopus OpenAlex |
21 |
Belaya S.
, Korolkov I.
, Maksimovskii E.
, Rakhmanova M.
, Asanov I.
, Shayapov V.
, Shapovalova A.
Investigation of the phase composition and photoluminescence of CVD (YxGdyEuz)2O3 films on Si substrates after annealing in the air Journal of Luminescence. 2021. V.233. 117842 . DOI: 10.1016/j.jlumin.2020.117842 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
22 |
Usoltsev A.N.
, Sukhikh T.S.
, Novikov A.S.
, Shayapov V.R.
, Pishchur D.P.
, Korolkov I.V.
, Sakhapov I.F.
, Fedin V.P.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
Unexpected Polymorphism in Bromoantimonate(III) Complexes and Its Effect on Optical Properties Inorganic Chemistry. 2021. V.60. N4. P.2797-2804. DOI: 10.1021/acs.inorgchem.0c03699 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
23 |
Суляева В.С.
, Гатапова Е.Я.
, Кожевников А.К.
, Рогило Д.И.
, Сараев А.А.
, Юшина И.В.
, Хомяков М.Н.
, Шаповалова А.А.
, Шаяпов В.Р.
, Баскар Н.
, Ту Р.
, Косинова М.Л.
Химическое строение и функциональные свойства аморфных пленок карбонитрида бора Журнал структурной химии. 2021. Т.62. №8. С.1396-1412. DOI: 10.26902/jsc_id78472 РИНЦ OpenAlex |
24 |
Sulyaeva V.S.
, Gatapova E.Y.
, Kozhevnikov A.K.
, Rogilo D.I.
, Saraev A.A.
, Yushina I.V.
, Khomyakov M.N.
, Shapovalova A.A.
, Shayapov V.R.
, Bhaskar N.
, Tu R.
, Kosinova M.L.
Chemical structure and functional properties of amorphous boron carbonitride films Journal of Structural Chemistry. 2021. V.62. P.1309-1324. DOI: 10.1134/S0022476621080187 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
25 |
Usoltsev A.N.
, Korobeynikov N.A.
, Novikov A.S.
, Shayapov V.R.
, Korolkov I.V.
, Samsonenko D.G.
, Fedin V.P.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
One-Dimensional Supramolecular Hybrid Iodobismuthate (1-EtPy)3{[Bi2I9](I2)0.75}: Structural Features and Theoretical Studies of I···I Non-Covalent Interactions Journal of Cluster Science. 2021. V.32. N3. P.787-791. DOI: 10.1007/s10876-020-01843-2 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
26 |
Ayvazyan G.Y.
, Katkov M.V.
, Lebedev M.S.
, Shayapov V.R.
, Afonin M.Y.
, Petukhova D.E.
, Yushina I.V.
, Maksimovskii E.A.
, Aghabekyan A.V.
Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition Journal of contemporary physics /. 2021. V.56. N3. P.240-246. DOI: 10.3103/s1068337221030075 WOS Scopus OpenAlex |
27 |
Usol’tsev A.N.
, Shentseva I.A.
, Shayapov V.R.
, Plyusnin P.E.
, Korol’kov I.V.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
Bismuth(III) Iodide Complexes with 1-Ethyl-4-Dimethylaminopyridinium: Structure, Thermal Stability, and Optical Properties Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2021. V.66. N10. P.1482-1487. DOI: 10.1134/S0036023621100193 Scopus OpenAlex |
28 |
Belaya S.V.
, Bakovets V.V.
, Rakhmanova M.I.
, Maksimovskii E.A.
, Yushina I.V.
, Shayapov V.R.
, Korolkov I.V.
Films of (Gd1 –xTbx)2O2S Solid Solutions Produced by Oxide Sulfidation in NH4SCN Vapor and Their Optical Properties Inorganic Materials. 2020. V.56. N8. P.836-846. DOI: 10.1134/s0020168520080038 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
29 |
Katkov M.V.
, Ayvazyan G.Y.
, Shayapov V.R.
, Lebedev M.S.
Modeling of the Optical Properties of Black Silicon Passivated by Thin Films of Metal Oxides Journal of contemporary physics /. 2020. V.55. N1. P.16-22. DOI: 10.3103/s106833722001003x Scopus OpenAlex |
30 |
Krisyuk V.V.
, Baidina I.A.
, Romanenko G.V.
, Kryuchkova N.A.
, Shayapov V.R.
, Komarov V.Y.
, Kyzy S.U.
, Benassi E.
, Igumenov I.K.
Structural Diversity and Spectral Properties of the Crystals of Heterometallic Complexes Derived from TM(acacen) and Pb(diketonate)2, TM = Cu, Ni, Pd Crystal Growth & Design. 2020. V.20. N11. P.7260-7270. DOI: 10.1021/acs.cgd.0c00938 Scopus OpenAlex |
31 |
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Pushkarev R.V.
, Shayapov V.R.
, Maksimovskiy E.A.
, Nadolinny V.A.
, Korotaev E.V.
, Kaichev V.V.
SYNTHESIS OF MAGNETIC NANOCOMPOSITE FILMS SiCxNyFez BY PLASMA-ENHANCED CHEMICAL DECOMPOSITION OF A GASEOUS MIXTURE OF 1,1,1,3,3,3-HEXAMETHYLDISILAZANE, FERROCENE, AND HELIUM Journal of Structural Chemistry. 2020. V.61. P.1865–1875. DOI: 10.1134/S0022476620120045 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
32 |
Chupina A.V.
, Shayapov V.
, Novikov A.S.
, Volchek V.V.
, Benassi E.
, Abramov P.A.
, Sokolov M.N.
[{AgL}2Mo8O26]n– complexes: a combined experimental and theoretical study Dalton Transactions. 2020. V.49. N5. P.1522-1530. DOI: 10.1039/c9dt04043a WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
33 |
Катков М.В.
, Айвазян Г.Е.
, Шаяпов В.Р.
, Лебедев М.С.
МОДЕЛИРОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЧЁРНОГО КРЕМНИЯ, ПАССИВИРОВАННОГО ТОНКИМИ ПЛЁНКАМИ ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ Известия НАН РА. Физика. 2020. Т.55. №1. С.24-32. |
34 |
Kozlova S.G.
, Ryzhikov M.R.
, Shayapov V.R.
, Samsonenko D.G.
Effect of spin–phonon interactions on Urbach tails in flexible [M2(bdc)2(dabco)] PCCP: PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS. 2020. V.22. N27. P.15242-15247. DOI: 10.1039/d0cp01944e WOS Scopus OpenAlex |
35 |
Kozlova S.G.
, Pishchur D.P.
, Kompankov N.B.
, Shayapov V.R.
, Samsonenko D.G.
Anomalous Behavior of Heat Capacity in Ni2(bdc)2(dabco). Schottky Anomaly and Spin–Phonon Interaction Journal of Physical Chemistry C. 2020. V.124. N37. P.20222-20227. DOI: 10.1021/acs.jpcc.0c05999 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
36 |
Kokovkin V.V.
, Mironov I.V.
, Korotaev E.V.
, Shayapov V.R.
, Shakirova O.G.
, Lavrenova L.G.
Studies on Sulfate Iron(II) Complex With Tris(pyrazol-1-yl) methane Exhibiting Spin Crossover in Aqueous Solutions ChemistrySelect. 2019. Т.4. №32. С.9360-9366. DOI: 10.1002/slct.201901424 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
37 |
Шаяпов В.Р.
, Чагин М.Н.
, Колодин А.Н.
, Косинова М.Л.
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСИ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА И АРГОНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ Физика и химия стекла. 2019. Т.45. №6. С.519-527. DOI: 10.1134/S0132665119060180 РИНЦ OpenAlex |
38 |
Shayapov V.R.
, Chagin M.N.
, Kolodin A.N.
, Kosinova M.L.
Deposition of Films from a Mixture of Hexamethylcyclotrisilazane Vapor and Argon in Inductively Coupled Plasma Glass Physics and Chemistry. 2019. V.45. N6. P.525-531. DOI: 10.1134/S108765961906018X Scopus OpenAlex |
39 |
Шаяпов В.Р.
, Яковкина Л.В.
ХАРАКТЕРИСТИКИ ФАЗОВОГО ПЕРЕХОДА В ПЛЕНКАХ ДИОКСИДА ВАНАДИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ Журнал физической химии. 2019. Т.93. №8. С.1153-1158. DOI: 10.1134/S0044453719070252 РИНЦ OpenAlex |
40 |
Shayapov V.R.
, Yakovkina L.V.
Characteristics of the Phase Transition in Vanadium Dioxide Films Obtained via Chemical Vapor Deposition Russian Journal of Physical Chemistry A. 2019. V.93. N8. P.1449-1454. DOI: 10.1134/S0036024419070252 Scopus OpenAlex |
41 |
Плеханов А.Г.
, Файнер Н.И.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Юшина И.В.
, Хомяков М.Н.
ПОЛУЧЕНИЕ ВЫСОКОПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК SiCxNyOz:H ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ ГАЗОВОЙ СМЕСИ 1,1,3,3,5,5-ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА, КИСЛОРОДА И АЗОТА Журнал общей химии. 2019. Т.89. №11. С.1786-1791. DOI: 10.1134/S0044460X19110209 РИНЦ OpenAlex |
42 |
Plekhanov A.G.
, Fainer N.I.
, Maksimovskiy E.A.
, Shayapov V.R.
, Yushina I.V.
, Khomyakov M.N.
Synthesis of Highly Transparent SiCxNyOz:H Films via Plasma-Chemical Decomposition of 1,1,3,3,5,5-Hexamethylcyclotrisilazane, Oxygen, and Nitrogen Gas Mixture Russian Journal of General Chemistry. 2019. V.89. N11. P.2290-2294. DOI: 10.1134/S1070363219110203 Scopus OpenAlex |
43 |
Usoltsev A.N.
, Adonin S.A.
, Abramov P.A.
, Novikov A.S.
, Shayapov V.R.
, Plyusnin P.E.
, Korolkov I.V.
, Sokolov M.N.
, Fedin V.P.
1D and 2D Polybromotellurates(IV): Structural Studies and Thermal Stability European Journal of Inorganic Chemistry. 2018. V.2018. N27. P.3264-3269. DOI: 10.1002/ejic.201800383 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
44 |
Lozanov V.V.
, Prokip V.E.
, Shayapov V.R.
, Berezin A.S.
, Baklanova N.I.
Photoluminescence properties of zirconium and hafnium germanates obtained through different chemical routes Ceramics International. 2018. V.44. P.19049-19053. DOI: 10.1016/j.ceramint.2018.07.080 Scopus OpenAlex |
45 |
Румянцев Ю.М.
, Чагин М.Н.
, Шаяпов В.Р.
, Юшина И.В.
, Кичай В.Н.
, Косинова М.Л.
СИНТЕЗ И СВОЙСТВА ПЛЕНОК, ОБРАЗУЮЩИХСЯ ИЗ ПАРОВ ТЕТРАМЕТИЛСИЛАНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ ВЧ РАЗРЯДА Физика и химия стекла. 2018. Т.44. №3. С.223-234. |
46 |
Rumyantsev Y.M.
, Chagin M.N.
, Shayapov V.R.
, Yushina I.V.
, Kichai V.N.
, Kosinova M.L.
Synthesis and Properties of Thin Films Formed by Vapor Deposition from Tetramethylsilane in a Radio-Frequency Inductively Coupled Plasma Discharge Glass Physics and Chemistry. 2018. V.44. N3. P.174-182. DOI: 10.1134/S1087659618030124 Scopus OpenAlex |
47 |
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Голубенко А.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния Журнал структурной химии. 2017. Т.58. №1. С.125-132. DOI: 10.15372/JSC20170118 OpenAlex |
48 |
Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Румянцев Ю.М.
, Хомяков М.Н.
, Косинова М.Л.
Газоабразивная износостойкость пленок карбонитридов кремния и бора Письма о материалах. 2017. Т.7. №3. С.272-277. DOI: 10.22226/2410-3535-2017-3-272-277 WOS РИНЦ OpenAlex |
49 |
Rogov A.B.
, Shayapov V.R.
The role of cathodic current in PEO of aluminum: Influence of cationic electrolyte composition on the transient current-voltage curves and the discharges optical emission spectra Applied Surface Science. 2017. V.394. P.323-332. DOI: 10.1016/j.apsusc.2016.10.115 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
50 |
Yakovkina L.V.
, Mutilin S.V.
, Prinz V.Y.
, Smirnova T.P.
, Shayapov V.R.
, Korol’kov I.V.
, Maksimovsky E.A.M.
, Volchok N.D.
MOCVD growth and characterization of vanadium dioxide films Journal of Materials Science. 2017. V.52. N7. P.4061-4069. DOI: 10.1007/s10853-016-0669-y WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
Тезисы докладов (3) Подробнее
1 |
Хижняк Е.А.
, Лебедев М.С.
, Шаяпов В.Р.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ В сборнике Программа и тезисы докладов «Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы». – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук., 2024. – C.79. – ISBN 978-5-90168-854-0. |
2 |
Шаяпов В.Р.
, Чагин М.Н.
, Дудкина С.П.
, Суляева В.С.
, Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда В сборнике Сборник тезисов XIII Всероссийской конференции с международным участием "Химия твердого тела и функциональные материалы - 2024". 2024. – C.419. |
3 |
Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Лебедев М.С.
ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.92. – ISBN 978-5-90168-849-6. |
Доклады на конференциях (6) Подробнее
1 |
Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Лебедев М.С.
Тонкие пленки Hf-Ti-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения из тетракисдиэтиламида гафния, тетрахлорида титана и воды XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024 |
2 |
Ермакова Е.Н.
, Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, получаемых методом плазмохимического осаждения из смеси гексаметилдисилана и аммиака XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024 |
3 |
Шаяпов В.Р.
, Чагин М.Н.
, Дудкина С.П.
, Суляева В.С.
, Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024 |
4 |
Хижняк Е.А.
, Лебедев М.С.
, Шаяпов В.Р.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024 |
5 |
Ермакова Е.Н.
, Чагин М.Н.
, Дудкина С.П.
, Шаяпов В.Р.
Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024 |
6 |
Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Лебедев М.С.
ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022 |
Ученые степени
2013 - Кандидат наук по специальности 1.4.4 - Физическая химия