Тонкие пленки Hf-Ti-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения из тетракисдиэтиламида гафния, тетрахлорида титана и воды - Доклады на конференциях

Тонкие пленки Hf-Ti-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения из тетракисдиэтиламида гафния, тетрахлорида титана и воды Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Стендовый

Конференция

XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 сент. 2024 , Санкт-Петербург

Авторы

Хижняк Е.А. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹ , Лебедев М.С. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С.
Тонкие пленки Hf-Ti-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения из тетракисдиэтиламида гафния, тетрахлорида титана и воды
XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024