Sciact
  • EN
  • RU

Тонкие пленки Hf-Ti-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения из тетракисдиэтиламида гафния, тетрахлорида титана и воды Conference attendances

Language Русский
Participant type Стендовый
Conference XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 Sep 2024 , Санкт-Петербург
Authors Хижняк Е.А. 1 , Шаяпов В.Р. 1 , Лебедев М.С. 1
Affiliations
1 Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
Cite: Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С.
Тонкие пленки Hf-Ti-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения из тетракисдиэтиламида гафния, тетрахлорида титана и воды
XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024