Научная деятельность

Статьи - 17 , Тезисы докладов - 4 , Доклады на конференциях - 7

Статьи (17) Подробнее

1	Peschenyuk Y.A. , Semenov A.A. , Ayvazyan G.Y. , Lebedev M.S. , Gatapova E.Y. Bubble growth in a volatile liquid drop: interface dynamics Thermophysics and Aeromechanics. 2023. V.29. N6. P.965-973. DOI: 10.1134/s0869864322060178 WOS Scopus OpenAlex
2	Petukhova D.E. , Vikulova E.S. , Korolkov I.V. , Khmel S.Y. , Lebedev M.S. Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex
3	Petukhova D.E. , Kichay V.N. , Lebedev M.S. The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition В сборнике 2023 IEEE 24th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM). 2023. – ISBN 9798350336870. DOI: 10.1109/EDM58354.2023.10225098 OpenAlex
4	Петухова Д.Е. , Викулова Е.С. , Корольков И.В. , Хмель С.Я. , Лебедев М.С. Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex
5	Lee L. , Chiang C-H. , Shen Y-C. , Wu S-C. , Shih Y-C. , Yang T-Y. , Hsu Y-C. , Cyu R-H. , Yu Y-J. , Hsieh S-H. , Chen C-H. , Lebedev M. , Chueh Y-L. Rational Design on Polymorphous Phase Switching in Molybdenum Diselenide-Based Memristor Assisted by All-Solid-State Reversible Intercalation toward Neuromorphic Application ACS Nano. 2023. V.17. N1. P.84-93. DOI: 10.1021/acsnano.2c04356 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
6	Ayvazyan G.Y. , Kovalenko D.L. , Lebedev M.S. , Matevosyan L.A. , Semchenko A.V. Investigation of the Structural and Optical Properties of Silicon-Perovskite Structures with a Black Silicon Layer Journal of contemporary physics /. 2022. V.57. N3. P.274-279. DOI: 10.1134/s1068337222030069 Scopus OpenAlex
7	Ayvazyan G.Y. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. , Shayapov V.R. , Afonin M.Y. , Petukhova D.E. , Yushina I.V. , Maksimovskii E.A. , Aghabekyan A.V. Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition Journal of contemporary physics /. 2021. V.56. N3. P.240-246. DOI: 10.3103/s1068337221030075 WOS Scopus OpenAlex
8	Ayvazyan G.Y. , Aghabekyan A.V. , Hakhoyan L.A. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. Passivation Properties of Atomic-Layer-Deposited Hafnium Oxide on Black Silicon Surface В сборнике 2021 IEEE 32nd International Conference on Microelectronics, MIEL 2021 - Proceedings". – Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.., 2021. – C.145-147. – ISBN 978-1-6654-4528-3. DOI: 10.1109/miel52794.2021.9569183 OpenAlex
9	Ayvazyan K.G. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. , Ayvazyan G.Y. Enhanced Light-trapping with Conformal ALD Coating of Black Silicon by High-k Metal Oxides В сборнике Proceedings of the 2021 IEEE 11th International Conference "Nanomaterials: Applications and Properties", NAP 2021. – Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.., 2021. – ISBN 978-1-6654-3907-7. DOI: 10.1109/nap51885.2021.9568530 OpenAlex
10	Katkov M.V. , Ayvazyan G.Y. , Shayapov V.R. , Lebedev M.S. Modeling of the Optical Properties of Black Silicon Passivated by Thin Films of Metal Oxides Journal of contemporary physics /. 2020. V.55. N1. P.16-22. DOI: 10.3103/s106833722001003x Scopus OpenAlex
11	Катков М.В. , Айвазян Г.Е. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. МОДЕЛИРОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЧЁРНОГО КРЕМНИЯ, ПАССИВИРОВАННОГО ТОНКИМИ ПЛЁНКАМИ ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ Известия НАН РА. Физика. 2020. Т.55. №1. С.24-32.
12	Lebedev M.S. , Khmel S.Y. , Lyulyukin M.N. , Petukhova D.E. , Barsukov A.V. Low-temperature fabrication of SiO x -TiO 2 core-shell nanowires for photocatalytic application Vacuum. 2019. V.165. P.51-57. DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.03.059 WOS Scopus OpenAlex
13	Lebedev M.S. , Kruchinin V.N. , Afonin M.Y. , Korolkov I.V. , Saraev A.A. , Gismatulin A.A. , Gritsenko V.A. Optical properties and charge transport of textured Sc2O3 thin films obtained by atomic layer deposition Applied Surface Science. 2019. V.478. P.690-698. DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.01.288 Scopus OpenAlex
14	Atuchin V.V. , Lebedev M.S. , Korolkov I.V. , Kruchinin V.N. , Maksimovskii E.A. , Trubin S.V. Composition-sensitive growth kinetics and dispersive optical properties of thin HfxTi1−xO2 (0 ≤ x ≤ 1) films prepared by the ALD method Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2019. V.30. N1. P.812-823. DOI: 10.1007/s10854-018-0351-z Scopus OpenAlex
15	Mishchenko I.B. , Petukhova D.E. , Lebedev M.S. Research of Atomic Layer Deposited HfO2/TiO2 Multilayer Structures by Spectroscopic and Multiangle Monochromatic Null Ellipsometry В сборнике 2018 19th International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM). 2018. – C.26-29. DOI: 10.1109/edm.2018.8434943 OpenAlex
16	Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. Исследование клиновидных плёнок оптическими методами. Часть II. Эксперименты Оптический журнал. 2016. Т.83. №7. С.76-82.
17	Shayapov V.R. , Lebedev M.S. Optical study of wedge-shaped films. Part II. Experiments Journal of Optical Technology. 2016. V.83. N7. P.447-451. DOI: 10.1364/JOT.83.000447 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Тезисы докладов (4) Подробнее

1	Хижняк Е.А. , Лебедев М.С. , Шаяпов В.Р. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ В сборнике Программа и тезисы докладов «Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы». – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук., 2024. – C.79. – ISBN 978-5-90168-854-0.
2	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O В сборнике IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.49-50. – ISBN 9785991302791.
3	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.92. – ISBN 978-5-90168-849-6.
4	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6.

Доклады на конференциях (7) Подробнее

1	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. Тонкие пленки Hf-Ti-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения из тетракисдиэтиламида гафния, тетрахлорида титана и воды XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024
2	Хижняк Е.А. , Лебедев М.С. , Шаяпов В.Р. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
3	Лебедев М.С. Молекулярное наслаивание пленок в системе Zr-Ti-O Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
4	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
5	Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б. Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
6	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022
7	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022