Научная деятельность

Статьи (20) Подробнее

1	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Корольков И.В. , Дудкина С.П. , Гейдт П.В. , Лебедев М.С. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №2. 140578 :1-12. DOI: 10.26902/JSC_id140578 OpenAlex
2	Khizhnyak E.A. , Shayapov V.R. , Korolkov I.V. , Dudkina S.P. , Geydt P.V. , Lebedev M.S. EFFECT OF DEPOSITION AND ANNEALING TEMPERATURES ON THE PHASE COMPOSITION OF TiO2 FILMS OBTAINED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION FROM TITANIUM TETRACHLORIDE AND WATER Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N2. P.293-303. DOI: 10.1134/S0022476625020088 WOS OpenAlex
3	Atuchin V.V. , Lebedev M.S. , Gromilov S.A. , Korolkov I.V. , Perevalov T.V. , Prosvirin I.P. Growth and Characterization of Mixed Oxide Hf1−xScxOy (0 ≤ x ≤ 1) Films Prepared by the Atomic Layer Deposition Method Journal of Electronic Materials. 2025. V.54. P.10.1007/s11664-025-11865-z. DOI: 10.1007/s11664-025-11865-z РИНЦ
4	Peschenyuk Y.A. , Semenov A.A. , Ayvazyan G.Y. , Lebedev M.S. , Gatapova E.Y. Bubble growth in a volatile liquid drop: interface dynamics Thermophysics and Aeromechanics. 2023. V.29. N6. P.965-973. DOI: 10.1134/s0869864322060178 WOS Scopus OpenAlex
5	Petukhova D.E. , Vikulova E.S. , Korolkov I.V. , Khmel S.Y. , Lebedev M.S. Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex
6	Petukhova D.E. , Kichay V.N. , Lebedev M.S. The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition В сборнике 2023 IEEE 24th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM). 2023. – ISBN 9798350336870. DOI: 10.1109/EDM58354.2023.10225098 OpenAlex
7	Петухова Д.Е. , Викулова Е.С. , Корольков И.В. , Хмель С.Я. , Лебедев М.С. Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex
8	Lee L. , Chiang C-H. , Shen Y-C. , Wu S-C. , Shih Y-C. , Yang T-Y. , Hsu Y-C. , Cyu R-H. , Yu Y-J. , Hsieh S-H. , Chen C-H. , Lebedev M. , Chueh Y-L. Rational Design on Polymorphous Phase Switching in Molybdenum Diselenide-Based Memristor Assisted by All-Solid-State Reversible Intercalation toward Neuromorphic Application ACS Nano. 2023. V.17. N1. P.84-93. DOI: 10.1021/acsnano.2c04356 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
9	Ayvazyan G.Y. , Kovalenko D.L. , Lebedev M.S. , Matevosyan L.A. , Semchenko A.V. Investigation of the Structural and Optical Properties of Silicon-Perovskite Structures with a Black Silicon Layer Journal of contemporary physics /. 2022. V.57. N3. P.274-279. DOI: 10.1134/s1068337222030069 WOS Scopus OpenAlex
10	Ayvazyan G.Y. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. , Shayapov V.R. , Afonin M.Y. , Petukhova D.E. , Yushina I.V. , Maksimovskii E.A. , Aghabekyan A.V. Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition Journal of contemporary physics /. 2021. V.56. N3. P.240-246. DOI: 10.3103/s1068337221030075 WOS Scopus OpenAlex
11	Ayvazyan G.Y. , Aghabekyan A.V. , Hakhoyan L.A. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. Passivation Properties of Atomic-Layer-Deposited Hafnium Oxide on Black Silicon Surface В сборнике 2021 IEEE 32nd International Conference on Microelectronics, MIEL 2021 - Proceedings". – Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.., 2021. – C.145-147. – ISBN 978-1-6654-4528-3. DOI: 10.1109/miel52794.2021.9569183 OpenAlex
12	Ayvazyan K.G. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. , Ayvazyan G.Y. Enhanced Light-trapping with Conformal ALD Coating of Black Silicon by High-k Metal Oxides В сборнике Proceedings of the 2021 IEEE 11th International Conference "Nanomaterials: Applications and Properties", NAP 2021. – Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.., 2021. – ISBN 978-1-6654-3907-7. DOI: 10.1109/nap51885.2021.9568530 OpenAlex
13	Katkov M.V. , Ayvazyan G.Y. , Shayapov V.R. , Lebedev M.S. Modeling of the Optical Properties of Black Silicon Passivated by Thin Films of Metal Oxides Journal of contemporary physics /. 2020. V.55. N1. P.16-22. DOI: 10.3103/s106833722001003x WOS Scopus OpenAlex
14	Катков М.В. , Айвазян Г.Е. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. МОДЕЛИРОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЧЁРНОГО КРЕМНИЯ, ПАССИВИРОВАННОГО ТОНКИМИ ПЛЁНКАМИ ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ Известия НАН РА. Физика. 2020. Т.55. №1. С.24-32.
15	Lebedev M.S. , Khmel S.Y. , Lyulyukin M.N. , Petukhova D.E. , Barsukov A.V. Low-temperature fabrication of SiO x -TiO 2 core-shell nanowires for photocatalytic application Vacuum. 2019. V.165. P.51-57. DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.03.059 WOS Scopus OpenAlex
16	Lebedev M.S. , Kruchinin V.N. , Afonin M.Y. , Korolkov I.V. , Saraev A.A. , Gismatulin A.A. , Gritsenko V.A. Optical properties and charge transport of textured Sc2O3 thin films obtained by atomic layer deposition Applied Surface Science. 2019. V.478. P.690-698. DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.01.288 WOS Scopus OpenAlex
17	Atuchin V.V. , Lebedev M.S. , Korolkov I.V. , Kruchinin V.N. , Maksimovskii E.A. , Trubin S.V. Composition-sensitive growth kinetics and dispersive optical properties of thin HfxTi1−xO2 (0 ≤ x ≤ 1) films prepared by the ALD method Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2019. V.30. N1. P.812-823. DOI: 10.1007/s10854-018-0351-z WOS Scopus OpenAlex
18	Mishchenko I.B. , Petukhova D.E. , Lebedev M.S. Research of Atomic Layer Deposited HfO2/TiO2 Multilayer Structures by Spectroscopic and Multiangle Monochromatic Null Ellipsometry В сборнике 2018 19th International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM). 2018. – C.26-29. DOI: 10.1109/edm.2018.8434943 OpenAlex
19	Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. Исследование клиновидных плёнок оптическими методами. Часть II. Эксперименты Оптический журнал. 2016. Т.83. №7. С.76-82.
20	Shayapov V.R. , Lebedev M.S. Optical study of wedge-shaped films. Part II. Experiments Journal of Optical Technology. 2016. V.83. N7. P.447-451. DOI: 10.1364/JOT.83.000447 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Тезисы докладов (4) Подробнее

1	Хижняк Е.А. , Лебедев М.С. , Шаяпов В.Р. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ В сборнике Программа и тезисы докладов «Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы». – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук., 2024. – C.79. – ISBN 978-5-90168-854-0.
2	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O В сборнике IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.49-50. – ISBN 9785991302791.
3	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.92. – ISBN 978-5-90168-849-6.
4	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6.

Доклады на конференциях (7) Подробнее

1	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. Тонкие пленки Hf-Ti-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения из тетракисдиэтиламида гафния, тетрахлорида титана и воды XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024
2	Хижняк Е.А. , Лебедев М.С. , Шаяпов В.Р. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
3	Лебедев М.С. Молекулярное наслаивание пленок в системе Zr-Ti-O Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
4	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
5	Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б. Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
6	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022
7	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022