Научная деятельность
Статьи (10) Подробнее
1 |
Peschenyuk Y.A.
, Semenov A.A.
, Ayvazyan G.Y.
, Lebedev M.S.
, Gatapova E.Y.
Bubble growth in a volatile liquid drop: interface dynamics Thermophysics and Aeromechanics. 2023. V.29. N6. P.965-973. DOI: 10.1134/s0869864322060178 WOS Scopus OpenAlex |
2 |
Petukhova D.E.
, Vikulova E.S.
, Korolkov I.V.
, Khmel S.Y.
, Lebedev M.S.
Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex |
3 |
Petukhova D.E.
, Kichay V.N.
, Lebedev M.S.
The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition В сборнике 2023 IEEE 24th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM). 2023. – ISBN 9798350336870. DOI: 10.1109/EDM58354.2023.10225098 OpenAlex |
4 |
Петухова Д.Е.
, Викулова Е.С.
, Корольков И.В.
, Хмель С.Я.
, Лебедев М.С.
Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex |
5 |
Lee L.
, Chiang C-H.
, Shen Y-C.
, Wu S-C.
, Shih Y-C.
, Yang T-Y.
, Hsu Y-C.
, Cyu R-H.
, Yu Y-J.
, Hsieh S-H.
, Chen C-H.
, Lebedev M.
, Chueh Y-L.
Rational Design on Polymorphous Phase Switching in Molybdenum Diselenide-Based Memristor Assisted by All-Solid-State Reversible Intercalation toward Neuromorphic Application ACS Nano. 2023. V.17. N1. P.84-93. DOI: 10.1021/acsnano.2c04356 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
6 |
Ayvazyan G.Y.
, Katkov M.V.
, Lebedev M.S.
, Shayapov V.R.
, Afonin M.Y.
, Petukhova D.E.
, Yushina I.V.
, Maksimovskii E.A.
, Aghabekyan A.V.
Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition Journal of contemporary physics /. 2021. V.56. N3. P.240-246. DOI: 10.3103/s1068337221030075 WOS Scopus OpenAlex |
7 |
Lebedev M.S.
, Khmel S.Y.
, Lyulyukin M.N.
, Petukhova D.E.
, Barsukov A.V.
Low-temperature fabrication of SiO x -TiO 2 core-shell nanowires for photocatalytic application Vacuum. 2019. V.165. P.51-57. DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.03.059 WOS Scopus OpenAlex |
8 |
Mishchenko I.B.
, Petukhova D.E.
, Lebedev M.S.
Research of Atomic Layer Deposited HfO2/TiO2 Multilayer Structures by Spectroscopic and Multiangle Monochromatic Null Ellipsometry В сборнике 2018 19th International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM). 2018. – C.26-29. DOI: 10.1109/edm.2018.8434943 OpenAlex |
9 |
Шаяпов В.Р.
, Лебедев М.С.
Исследование клиновидных плёнок оптическими методами. Часть II. Эксперименты Оптический журнал. 2016. Т.83. №7. С.76-82. |
10 |
Shayapov V.R.
, Lebedev M.S.
Optical study of wedge-shaped films. Part II. Experiments Journal of Optical Technology. 2016. V.83. N7. P.447-451. DOI: 10.1364/JOT.83.000447 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
Тезисы докладов (2) Подробнее
1 |
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O В сборнике IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.49-50. – ISBN 9785991302791. |
2 |
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6. |
Доклады на конференциях (6) Подробнее
1 |
Хижняк Е.А.
, Лебедев М.С.
, Шаяпов В.Р.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024 |
2 |
Лебедев М.С.
Молекулярное наслаивание пленок в системе Zr-Ti-O Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024 |
3 |
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023 |
4 |
Викулова Е.С.
, Ильин И.Ю.
, Доровских С.И.
, Волчек В.В.
, Петухова Д.Е.
, Ильдяков А.В.
, Лебедев М.С.
, Резванов А.А.
, Морозова Н.Б.
Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023 |
5 |
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022 |
6 |
Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Лебедев М.С.
ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022 |