Composition-sensitive growth kinetics and dispersive optical properties of thin HfxTi1−xO2 (0 ≤ x ≤ 1) films prepared by the ALD method Научная публикация
Журнал |
Journal of Materials Science: Materials in Electronics
ISSN: 1573-482X , E-ISSN: 0957-4522 |
||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2019, Том: 30, Номер: 1, Страницы: 812-823 Страниц : 12 DOI: 10.1007/s10854-018-0351-z | ||||||||||||||
Авторы |
|
||||||||||||||
Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Atuchin V.V.
, Lebedev M.S.
, Korolkov I.V.
, Kruchinin V.N.
, Maksimovskii E.A.
, Trubin S.V.
Composition-sensitive growth kinetics and dispersive optical properties of thin HfxTi1−xO2 (0 ≤ x ≤ 1) films prepared by the ALD method
Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2019. V.30. N1. P.812-823. DOI: 10.1007/s10854-018-0351-z Scopus OpenAlex
Composition-sensitive growth kinetics and dispersive optical properties of thin HfxTi1−xO2 (0 ≤ x ≤ 1) films prepared by the ALD method
Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2019. V.30. N1. P.812-823. DOI: 10.1007/s10854-018-0351-z Scopus OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: | 8 окт. 2018 г. |
Принята к публикации: | 8 нояб. 2018 г. |
Опубликована online: | 13 нояб. 2018 г. |
Идентификаторы БД:
Scopus: | 2-s2.0-85056460912 |
OpenAlex: | W2901255812 |