Тонкие плёнки Ti-Sc-O и Ti-Sm-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения: влияние состава на структуру и оптические свойства Доклады на конференциях
| Язык | Русский | ||
|---|---|---|---|
| Тип доклада | Устный | ||
| Конференция |
Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум» 04-10 июл. 2025 , Улан-Удэ |
||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Петухова Д.Е.
, Викулова Е.С.
, Лебедев М.С.
Тонкие плёнки Ti-Sc-O и Ti-Sm-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения: влияние состава на структуру и оптические свойства
Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум» 04-10 июл. 2025
Тонкие плёнки Ti-Sc-O и Ti-Sm-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения: влияние состава на структуру и оптические свойства
Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум» 04-10 июл. 2025