Sciact
  • EN
  • RU

Тонкие плёнки Ti-Sc-O и Ti-Sm-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения: влияние состава на структуру и оптические свойства Доклады на конференциях

Язык Русский
Тип доклада Устный
Конференция Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум»
04-10 июл. 2025 , Улан-Удэ
Авторы Петухова Д Е 1 , Викулова Е С 1 , Лебедев М С 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
Библиографическая ссылка: Петухова Д.Е. , Викулова Е.С. , Лебедев М.С.
Тонкие плёнки Ti-Sc-O и Ti-Sm-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения: влияние состава на структуру и оптические свойства
Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум» 04-10 июл. 2025