Sciact
  • EN
  • RU
Profile

Петухова Дарья Евгеньевна

Сотрудник

Научная деятельность

Статьи - 8 , Тезисы докладов - 5 , Доклады на конференциях - 7


Статьи (8) Подробнее

1 Petukhova D.E. , Vikulova E.S. , Korolkov I.V. , Khmel S.Y. , Lebedev M.S.
Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex
2 Petukhova D.E. , Kichay V.N. , Lebedev M.S.
The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition
В сборнике 2023 IEEE 24th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM). 2023. – ISBN 9798350336870. DOI: 10.1109/EDM58354.2023.10225098 OpenAlex
3 Петухова Д.Е. , Сартакова А.В. , Сухих Т.С. , Афонин М.Ю. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
СТРОЕНИЕ И ТЕРМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТРИС-(МЕТИЛЦИКЛОПЕНТАДИЕНИЛ)СКАНДИЯ
Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №12. 123233 . DOI: 10.26902/JSC_id123233 РИНЦ
4 Petukhova D.E. , Sartakova A.V. , Sukhikh T.S. , Afonin M.Y. , Sysoev S.V. , Vikulova E.S.
STRUCTURE AND THERMAL PROPERTIES OF TRIS-(METHYLCYCLOPENTADIENYL)SCANDIA
Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. P.2461-2471. DOI: 10.1134/S002247662312017X WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
5 Петухова Д.Е. , Викулова Е.С. , Корольков И.В. , Хмель С.Я. , Лебедев М.С.
Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex
6 Ayvazyan G.Y. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. , Shayapov V.R. , Afonin M.Y. , Petukhova D.E. , Yushina I.V. , Maksimovskii E.A. , Aghabekyan A.V.
Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition
Journal of contemporary physics /. 2021. V.56. N3. P.240-246. DOI: 10.3103/s1068337221030075 WOS Scopus OpenAlex
7 Lebedev M.S. , Khmel S.Y. , Lyulyukin M.N. , Petukhova D.E. , Barsukov A.V.
Low-temperature fabrication of SiO x -TiO 2 core-shell nanowires for photocatalytic application
Vacuum. 2019. V.165. P.51-57. DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.03.059 WOS Scopus OpenAlex
8 Mishchenko I.B. , Petukhova D.E. , Lebedev M.S.
Research of Atomic Layer Deposited HfO2/TiO2 Multilayer Structures by Spectroscopic and Multiangle Monochromatic Null Ellipsometry
В сборнике 2018 19th International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM). 2018. – C.26-29. DOI: 10.1109/edm.2018.8434943 OpenAlex

Тезисы докладов (5) Подробнее

1 Петухова Д.Е. , Лебедев М.С.
Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O
В сборнике IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.49-50. – ISBN 9785991302791.
2 Петухова Д.Е. , Афонин М.Ю. , Сартакова А.В. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур
В сборнике IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.94. – ISBN 9785991302791.
3 Петухова Д.Е. , Сартакова А.В. , Афонин М.Ю. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
Исследование термических свойств трис-метилциклопентадиенилскандия
В сборнике Термодинамика и материаловедение. Тезисы докладов XV Симпозиума с международным участием, 3–7 июля 2023 года. – Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН., 2023. – C.100. – ISBN 9785901688533.
4 Петухова Д.Е. , Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6.
5 Петухова Д.Е.
Использование подложек различной морфологии для исследования структуры сверхтонких плёнок оксидов металлов
В сборнике Материалы XXII Международной научно-практической конференции студентов и молодых ученых имени выдающихся химиков Л.П. Кулёва и Н.М. Кижнера, посвященной 125-летию со дня основания Томского политехнического университета. – Изд-во Томского политехнического университета., 2021. – Т.1. – C.103-104. – ISBN 978-5-4387-0995-4.

Доклады на конференциях (7) Подробнее

1 Петухова Д.Е.
Трис-изопропилциклопентадиенил самария и его применение в процессах газофазного осаждения оксидных материалов
XXI Российская ежегодная конференция молодых научных сотрудников и аспирантов «Физико-химия и технология неорганических материалов» (с международным участием) 15-18 окт. 2024
2 Петухова Д.Е. , Лебедев М.С.
Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
3 Петухова Д.Е. , Афонин М.Ю. , Сартакова А.В. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
4 Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б.
Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
5 Петухова Д.Е. , Сартакова А.В. , Афонин М.Ю. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
Исследование термических свойств трис-метилциклопентадиенилскандия
XV Симпозиум с международным участием «ТЕРМОДИНАМИКА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ» 03-07 июл. 2023
6 Петухова Д.Е. , Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022
7 Петухова Д.Е.
Использование подложек различной морфологии для исследования структуры сверхтонких плёнок оксидов металлов
XXII Международная научно-практическая конференция студентов и молодых ученых "ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ В XXI ВЕКЕ" 17-20 мая 2021