Научная деятельность
Статьи (8) Подробнее
| 1 |
Petukhova D.E.
, Vikulova E.S.
, Korolkov I.V.
, Khmel S.Y.
, Lebedev M.S.
Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex |
| 2 |
Petukhova D.E.
, Kichay V.N.
, Lebedev M.S.
The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition В сборнике 2023 IEEE 24th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM). 2023. – ISBN 9798350336870. DOI: 10.1109/EDM58354.2023.10225098 OpenAlex |
| 3 |
Петухова Д.Е.
, Сартакова А.В.
, Сухих Т.С.
, Афонин М.Ю.
, Сысоев С.В.
, Викулова Е.С.
СТРОЕНИЕ И ТЕРМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТРИС-(МЕТИЛЦИКЛОПЕНТАДИЕНИЛ)СКАНДИЯ Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №12. 123233 . DOI: 10.26902/JSC_id123233 РИНЦ |
| 4 |
Petukhova D.E.
, Sartakova A.V.
, Sukhikh T.S.
, Afonin M.Y.
, Sysoev S.V.
, Vikulova E.S.
STRUCTURE AND THERMAL PROPERTIES OF TRIS-(METHYLCYCLOPENTADIENYL)SCANDIA Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. P.2461-2471. DOI: 10.1134/S002247662312017X WOS Scopus РИНЦ OpenAlex |
| 5 |
Петухова Д.Е.
, Викулова Е.С.
, Корольков И.В.
, Хмель С.Я.
, Лебедев М.С.
Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex |
| 6 |
Ayvazyan G.Y.
, Katkov M.V.
, Lebedev M.S.
, Shayapov V.R.
, Afonin M.Y.
, Petukhova D.E.
, Yushina I.V.
, Maksimovskii E.A.
, Aghabekyan A.V.
Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition Journal of contemporary physics /. 2021. V.56. N3. P.240-246. DOI: 10.3103/s1068337221030075 WOS Scopus OpenAlex |
| 7 |
Lebedev M.S.
, Khmel S.Y.
, Lyulyukin M.N.
, Petukhova D.E.
, Barsukov A.V.
Low-temperature fabrication of SiO x -TiO 2 core-shell nanowires for photocatalytic application Vacuum. 2019. V.165. P.51-57. DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.03.059 WOS Scopus OpenAlex |
| 8 |
Mishchenko I.B.
, Petukhova D.E.
, Lebedev M.S.
Research of Atomic Layer Deposited HfO2/TiO2 Multilayer Structures by Spectroscopic and Multiangle Monochromatic Null Ellipsometry В сборнике 2018 19th International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM). 2018. – C.26-29. DOI: 10.1109/edm.2018.8434943 OpenAlex |
Тезисы докладов (5) Подробнее
| 1 |
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O В сборнике IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.49-50. – ISBN 9785991302791. |
| 2 |
Петухова Д.Е.
, Афонин М.Ю.
, Сартакова А.В.
, Сысоев С.В.
, Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур В сборнике IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.94. – ISBN 9785991302791. |
| 3 |
Петухова Д.Е.
, Сартакова А.В.
, Афонин М.Ю.
, Сысоев С.В.
, Викулова Е.С.
Исследование термических свойств трис-метилциклопентадиенилскандия В сборнике Термодинамика и материаловедение. Тезисы докладов XV Симпозиума с международным участием, 3–7 июля 2023 года. – Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН., 2023. – C.100. – ISBN 9785901688533. |
| 4 |
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6. |
| 5 |
Петухова Д.Е.
Использование подложек различной морфологии для исследования структуры сверхтонких плёнок оксидов металлов В сборнике Материалы XXII Международной научно-практической конференции студентов и молодых ученых имени выдающихся химиков Л.П. Кулёва и Н.М. Кижнера, посвященной 125-летию со дня основания Томского политехнического университета. – Изд-во Томского политехнического университета., 2021. – Т.1. – C.103-104. – ISBN 978-5-4387-0995-4. |
Доклады на конференциях (7) Подробнее
| 1 |
Петухова Д.Е.
Трис-изопропилциклопентадиенил самария и его применение в процессах газофазного осаждения оксидных материалов XXI Российская ежегодная конференция молодых научных сотрудников и аспирантов «Физико-химия и технология неорганических материалов» (с международным участием) 15-18 окт. 2024 |
| 2 |
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023 |
| 3 |
Петухова Д.Е.
, Афонин М.Ю.
, Сартакова А.В.
, Сысоев С.В.
, Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023 |
| 4 |
Викулова Е.С.
, Ильин И.Ю.
, Доровских С.И.
, Волчек В.В.
, Петухова Д.Е.
, Ильдяков А.В.
, Лебедев М.С.
, Резванов А.А.
, Морозова Н.Б.
Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023 |
| 5 |
Петухова Д.Е.
, Сартакова А.В.
, Афонин М.Ю.
, Сысоев С.В.
, Викулова Е.С.
Исследование термических свойств трис-метилциклопентадиенилскандия XV Симпозиум с международным участием «ТЕРМОДИНАМИКА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ» 03-07 июл. 2023 |
| 6 |
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022 |
| 7 |
Петухова Д.Е.
Использование подложек различной морфологии для исследования структуры сверхтонких плёнок оксидов металлов XXII Международная научно-практическая конференция студентов и молодых ученых "ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ В XXI ВЕКЕ" 17-20 мая 2021 |