Научная деятельность

Статьи (8) Подробнее

1	Petukhova D.E. , Vikulova E.S. , Korolkov I.V. , Khmel S.Y. , Lebedev M.S. Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex
2	Petukhova D.E. , Kichay V.N. , Lebedev M.S. The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition В сборнике 2023 IEEE 24th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM). 2023. – ISBN 9798350336870. DOI: 10.1109/EDM58354.2023.10225098 OpenAlex
3	Петухова Д.Е. , Сартакова А.В. , Сухих Т.С. , Афонин М.Ю. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С. СТРОЕНИЕ И ТЕРМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТРИС-(МЕТИЛЦИКЛОПЕНТАДИЕНИЛ)СКАНДИЯ Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №12. 123233 . DOI: 10.26902/JSC_id123233 РИНЦ
4	Petukhova D.E. , Sartakova A.V. , Sukhikh T.S. , Afonin M.Y. , Sysoev S.V. , Vikulova E.S. STRUCTURE AND THERMAL PROPERTIES OF TRIS-(METHYLCYCLOPENTADIENYL)SCANDIA Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. P.2461-2471. DOI: 10.1134/S002247662312017X WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
5	Петухова Д.Е. , Викулова Е.С. , Корольков И.В. , Хмель С.Я. , Лебедев М.С. Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex
6	Ayvazyan G.Y. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. , Shayapov V.R. , Afonin M.Y. , Petukhova D.E. , Yushina I.V. , Maksimovskii E.A. , Aghabekyan A.V. Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition Journal of contemporary physics /. 2021. V.56. N3. P.240-246. DOI: 10.3103/s1068337221030075 WOS Scopus OpenAlex
7	Lebedev M.S. , Khmel S.Y. , Lyulyukin M.N. , Petukhova D.E. , Barsukov A.V. Low-temperature fabrication of SiO x -TiO 2 core-shell nanowires for photocatalytic application Vacuum. 2019. V.165. P.51-57. DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.03.059 WOS Scopus OpenAlex
8	Mishchenko I.B. , Petukhova D.E. , Lebedev M.S. Research of Atomic Layer Deposited HfO2/TiO2 Multilayer Structures by Spectroscopic and Multiangle Monochromatic Null Ellipsometry В сборнике 2018 19th International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM). 2018. – C.26-29. DOI: 10.1109/edm.2018.8434943 OpenAlex

Тезисы докладов (5) Подробнее

1	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O В сборнике IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.49-50. – ISBN 9785991302791.
2	Петухова Д.Е. , Афонин М.Ю. , Сартакова А.В. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С. Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур В сборнике IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.94. – ISBN 9785991302791.
3	Петухова Д.Е. , Сартакова А.В. , Афонин М.Ю. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С. Исследование термических свойств трис-метилциклопентадиенилскандия В сборнике Термодинамика и материаловедение. Тезисы докладов XV Симпозиума с международным участием, 3–7 июля 2023 года. – Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН., 2023. – C.100. – ISBN 9785901688533.
4	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6.
5	Петухова Д.Е. Использование подложек различной морфологии для исследования структуры сверхтонких плёнок оксидов металлов В сборнике Материалы XXII Международной научно-практической конференции студентов и молодых ученых имени выдающихся химиков Л.П. Кулёва и Н.М. Кижнера, посвященной 125-летию со дня основания Томского политехнического университета. – Изд-во Томского политехнического университета., 2021. – Т.1. – C.103-104. – ISBN 978-5-4387-0995-4.

Доклады на конференциях (7) Подробнее

1	Петухова Д.Е. Трис-изопропилциклопентадиенил самария и его применение в процессах газофазного осаждения оксидных материалов XXI Российская ежегодная конференция молодых научных сотрудников и аспирантов «Физико-химия и технология неорганических материалов» (с международным участием) 15-18 окт. 2024
2	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
3	Петухова Д.Е. , Афонин М.Ю. , Сартакова А.В. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С. Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
4	Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б. Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
5	Петухова Д.Е. , Сартакова А.В. , Афонин М.Ю. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С. Исследование термических свойств трис-метилциклопентадиенилскандия XV Симпозиум с международным участием «ТЕРМОДИНАМИКА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ» 03-07 июл. 2023
6	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022
7	Петухова Д.Е. Использование подложек различной морфологии для исследования структуры сверхтонких плёнок оксидов металлов XXII Международная научно-практическая конференция студентов и молодых ученых "ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ В XXI ВЕКЕ" 17-20 мая 2021