Sciact
  • EN
  • RU

АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА Научная публикация

Журнал Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Вых. Данные Год: 2025, Том: 66, Номер: 11, Номер статьи : 155150, Страниц : DOI: 10.26902/JSC_id155150
Ключевые слова аморфные пленки SiCNH, PECVD, гексаметилдисилазан, диэлектрические свойства, диффузионно-барьерный слой, РФЭС, оптическая эмиссионная спектроскопия
Авторы Ермакова Е.Н. 1 , Плеханов А.Г. 1 , Шаяпов В.Р. 1 , Суляева В.С. 1 , Максимовский Е.А. 1 , Петухова Д.Е. 1 , Сараев А.А. 2 , Герасимов Е.Ю. 2 , Кириенко В.В. 3 , Хомяков М.Н. 4 , Косинова М.Л. 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия
3 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
4 Институт лазерной физики СО РАН, Новосибирск, Россия

Реферат: Синтез тонких аморфных пленок гидрогенизированного карбонитрида кремния осуществлялся в реакторе с плазмой ВЧ разряда с использованием паров гексаметилдисилазана и гелия. Пленки SiCxNy:H различного состава получены путем варьирования температуры подложки и давления прекурсора в реакционной камере. Получены зависимости скорости роста, элементного состава, химического строения пленок, а также показателя преломления и коэффициента диэлектрической проницаемости от условий синтеза. Методом оптической эмиссионной спектроскопии определены компоненты плазмы. Методами ПЭМВР и ЭДС-картирования показано, что отожжённый образец Cu/SiCNH/Si(100) имеет четкие границы раздела подложка/пленка и пленка/слой меди, диффузия меди не наблюдается. Тонкие пленки SiCNH, имеющий низкое значение e, можно рассматривать как перспективный диффузионно-барьерный слой для современных микросхем.
Библиографическая ссылка: Ермакова Е.Н. , Плеханов А.Г. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Максимовский Е.А. , Петухова Д.Е. , Сараев А.А. , Герасимов Е.Ю. , Кириенко В.В. , Хомяков М.Н. , Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №11. 155150 . DOI: 10.26902/JSC_id155150
Переводная: Ermakova E.N. , Plekhanov A.G. , Shayapov V.R. , Sulyaeva V.S. , Maksimovsky E.A. , Petukhova D.E. , Saraev A.A. , Gerasimov E.Y. , Kirienko V.V. , Khomyakov M.N. , Kosinova M.L.
Amorphous Dielectric SiCNH Films Prepared by PECVD Method from Hexamethyldisilazane Vapors
Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N11. P.2292-2308. DOI: 10.1134/s0022476625110046 WOS Scopus OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 26 авг. 2025 г.
Принята к публикации: 4 сент. 2025 г.
Опубликована в печати: 28 нояб. 2025 г.
Идентификаторы БД: Нет идентификаторов
Цитирование в БД: Пока нет цитирований
Альметрики: