Sciact
  • EN
  • RU

АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА Full article

Journal Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Output data Year: 2025, Volume: 66, Number: 11, Article number : 155150, Pages count : DOI: 10.26902/JSC_id155150
Tags аморфные пленки SiCNH, PECVD, гексаметилдисилазан, диэлектрические свойства, диффузионно-барьерный слой, РФЭС, оптическая эмиссионная спектроскопия
Authors Ермакова Е.Н. 1 , Плеханов А.Г. 1 , Шаяпов В.Р. 1 , Суляева В.С. 1 , Максимовский Е.А. 1 , Петухова Д.Е. 1 , Сараев А.А. 2 , Герасимов Е.Ю. 2 , Кириенко В.В. 3 , Хомяков М.Н. 4 , Косинова М.Л. 1
Affiliations
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия
3 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
4 Институт лазерной физики СО РАН, Новосибирск, Россия

Abstract: Синтез тонких аморфных пленок гидрогенизированного карбонитрида кремния осуществлялся в реакторе с плазмой ВЧ разряда с использованием паров гексаметилдисилазана и гелия. Пленки SiCxNy:H различного состава получены путем варьирования температуры подложки и давления прекурсора в реакционной камере. Получены зависимости скорости роста, элементного состава, химического строения пленок, а также показателя преломления и коэффициента диэлектрической проницаемости от условий синтеза. Методом оптической эмиссионной спектроскопии определены компоненты плазмы. Методами ПЭМВР и ЭДС-картирования показано, что отожжённый образец Cu/SiCNH/Si(100) имеет четкие границы раздела подложка/пленка и пленка/слой меди, диффузия меди не наблюдается. Тонкие пленки SiCNH, имеющий низкое значение e, можно рассматривать как перспективный диффузионно-барьерный слой для современных микросхем.
Cite: Ермакова Е.Н. , Плеханов А.Г. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Максимовский Е.А. , Петухова Д.Е. , Сараев А.А. , Герасимов Е.Ю. , Кириенко В.В. , Хомяков М.Н. , Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №11. 155150 . DOI: 10.26902/JSC_id155150
Dates:
Submitted: Aug 26, 2025
Accepted: Sep 4, 2025
Published print: Nov 28, 2025
Identifiers: No identifiers
Citing: Пока нет цитирований
Altmetrics: