Sciact
  • EN
  • RU

Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники Доклады на конференциях

Язык Русский
Тип доклада Устный
Конференция IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 сент. 2023 , Махачкала
Авторы Викулова Е.С. 1 , Ильин И.Ю. 1 , Доровских С.И. 1 , Волчек В.В. 1 , Петухова Д.Е. 1 , Ильдяков А.В. 1 , Лебедев М.С. 1 , Резванов А.А. 1,2 , Морозова Н.Б. 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
2 АО НИИ Молекулярной электроники
Библиографическая ссылка: Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б.
Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023