Sciact
  • EN
  • RU

Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники Conference attendances

Language Русский
Participant type Устный
Conference IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 Sep 2023 , Махачкала
Authors Викулова Е.С. 1 , Ильин И.Ю. 1 , Доровских С.И. 1 , Волчек В.В. 1 , Петухова Д.Е. 1 , Ильдяков А.В. 1 , Лебедев М.С. 1 , Резванов А.А. 1,2 , Морозова Н.Б. 1
Affiliations
1 Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
2 Research Institute of Molecular Electronics
Cite: Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б.
Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023