Sciact
  • EN
  • RU

Трис-изопропилциклопентадиенил самария и его применение в процессах газофазного осаждения оксидных материалов Доклады на конференциях

Язык Русский
Тип доклада Устный
Конференция XXI Российская ежегодная конференция молодых научных сотрудников и аспирантов «Физико-химия и технология неорганических материалов» (с международным участием)
15-18 окт. 2024 , Москва
Авторы Петухова Д.Е. 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Реферат: В докладе представлены результаты исследования структуры и термической стабильности трис-изопропилциклопентадиенила самария Sm(iPrCp)3 и его применения для осаждения тонких плёнок Sm2O3 и Ti-Sm-O. Продемонстрировано, что комплекс самария не подвергается термораспаду в условиях, выбранных при получении оксидных плёнок. Обнаружено, что самоограничивающийся рост, реализующийся в процессах атомно-слоевого осаждения, затруднён для индивидуального Sm2O3, но возможен для Ti-Sm-O. Представлены результаты характеризации состава, структуры и оптических свойств полученных плёнок.
Библиографическая ссылка: Петухова Д.Е.
Трис-изопропилциклопентадиенил самария и его применение в процессах газофазного осаждения оксидных материалов
XXI Российская ежегодная конференция молодых научных сотрудников и аспирантов «Физико-химия и технология неорганических материалов» (с международным участием) 15-18 окт. 2024