Abstract: В докладе представлены результаты исследования структуры и термической стабильности трис-изопропилциклопентадиенила самария Sm(iPrCp)3 и его применения для осаждения тонких плёнок Sm2O3 и Ti-Sm-O. Продемонстрировано, что комплекс самария не подвергается термораспаду в условиях, выбранных при получении оксидных плёнок. Обнаружено, что самоограничивающийся рост, реализующийся в процессах атомно-слоевого осаждения, затруднён для индивидуального Sm2O3, но возможен для Ti-Sm-O. Представлены результаты характеризации состава, структуры и оптических свойств полученных плёнок.

Cite: Петухова Д.Е.
Трис-изопропилциклопентадиенил самария и его применение в процессах газофазного осаждения оксидных материалов
XXI Российская ежегодная конференция молодых научных сотрудников и аспирантов «Физико-химия и технология неорганических материалов» (с международным участием) 15-18 окт. 2024