Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения - Доклады на конференциях

Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Стендовый

Конференция

Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
11-13 июл. 2022 , Новосибирск, Лаврентьева, 3

Авторы

Петухова Д.Е. ¹ , Лебедев М.С. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Петухова Д.Е. , Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022