Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения - Conference attendances

Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Стендовый

Conference

Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
11-13 Jul 2022 , Новосибирск, Лаврентьева, 3

Authors

Петухова Д.Е. ¹ , Лебедев М.С. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Петухова Д.Е. , Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022