Характеристики роста, фазовый состав и оптические свойства тонких пленок Ti-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения

Характеристики роста, фазовый состав и оптические свойства тонких пленок Ti-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Научная публикация

Журнал

Журнал неорганической химии
ISSN: 0044-457X

Вых. Данные

Год: 2025, Том: 70, Номер: 9, Страницы: 1188-1200 Страниц : 13 DOI: 10.7868/S3034560X25090115

Авторы

Петухова Д.Е. ¹ , КОРОЛЬКОВ И.В. ¹ , САРАЕВ А.А. ² , ЛЕБЕДЕВ М.С. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия

Петухова Д.Е. , КОРОЛЬКОВ И.В. , САРАЕВ А.А. , ЛЕБЕДЕВ М.С.
Характеристики роста, фазовый состав и оптические свойства тонких пленок Ti-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Журнал неорганической химии. 2025. Т.70. №9. С.1188-1200. DOI: 10.7868/S3034560X25090115

Petukhova D.E. , Korolkov I.V. , Saraev A.A. , Lebedev M.S.
Growth Characteristics, Phase Composition, and Optical Properties of Ti–Sc–O Thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2025. V.70. N9. P.1379-1390. DOI: 10.1134/S0036023625602752 WOS

Поступила в редакцию:	28 мар. 2025 г.
Принята к публикации:	11 июн. 2025 г.
Опубликована в печати:	30 сент. 2025 г.

Нет идентификаторов

Пока нет цитирований