Характеристики роста, фазовый состав и оптические свойства тонких пленок Ti-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения

Характеристики роста, фазовый состав и оптические свойства тонких пленок Ti-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Full article

Journal

Журнал неорганической химии
ISSN: 0044-457X

Output data

Year: 2025, Volume: 70, Number: 9, Pages: 1188-1200 Pages count : 13 DOI: 10.7868/S3034560X25090115

Authors

Петухова Д.Е. ¹ , КОРОЛЬКОВ И.В. ¹ , САРАЕВ А.А. ² , ЛЕБЕДЕВ М.С. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия

Петухова Д.Е. , КОРОЛЬКОВ И.В. , САРАЕВ А.А. , ЛЕБЕДЕВ М.С.
Характеристики роста, фазовый состав и оптические свойства тонких пленок Ti-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Журнал неорганической химии. 2025. Т.70. №9. С.1188-1200. DOI: 10.7868/S3034560X25090115

Petukhova D.E. , Korolkov I.V. , Saraev A.A. , Lebedev M.S.
Growth Characteristics, Phase Composition, and Optical Properties of Ti–Sc–O Thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2025. V.70. N9. P.1379-1390. DOI: 10.1134/S0036023625602752 WOS

Submitted:	Mar 28, 2025
Accepted:	Jun 11, 2025
Published print:	Sep 30, 2025

No identifiers

Пока нет цитирований