Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Тезисы доклада
| Конференция |
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022 , Новосибирск, Лаврентьева, 3 |
||
|---|---|---|---|
| Сборник | Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы" Сборник, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН. Новосибирск.2022. 103 c. ISBN 978-5-90168-849-6. |
||
| Вых. Данные | Год: 2022, Страницы: 89 Страниц : 1 | ||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6.
Идентификаторы БД:
Нет идентификаторов
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований