Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Conference Abstracts
| Conference |
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 Jul 2022 , Новосибирск, Лаврентьева, 3 |
||
|---|---|---|---|
| Source | Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы" Compilation, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН. Новосибирск.2022. 103 c. ISBN 978-5-90168-849-6. |
||
| Output data | Year: 2022, Pages: 89 Pages count : 1 | ||
| Authors |
|
||
| Affiliations |
|
Cite:
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
In compilation Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
In compilation Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6.
Identifiers:
No identifiers
Citing:
Пока нет цитирований