Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition Научная публикация
| Журнал |
Journal of Structural Chemistry
ISSN: 1573-8779 , E-ISSN: 0022-4766 |
||||
|---|---|---|---|---|---|
| Вых. Данные | Год: 2023, Том: 64, Номер: 3, Страницы: 424-436 Страниц : 13 DOI: 10.1134/s0022476623030083 | ||||
| Авторы |
|
||||
| Организации |
|
Информация о финансировании (2)
| 1 | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | 121031700314-5 |
| 2 | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | 121031700313-8 |
Библиографическая ссылка:
Petukhova D.E.
, Vikulova E.S.
, Korolkov I.V.
, Khmel S.Y.
, Lebedev M.S.
Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex
Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex
Оригинальная:
Петухова Д.Е.
, Викулова Е.С.
, Корольков И.В.
, Хмель С.Я.
, Лебедев М.С.
Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex
Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex
Даты:
| Поступила в редакцию: | 23 дек. 2022 г. |
| Опубликована в печати: | 6 апр. 2023 г. |
Идентификаторы БД:
| Web of science: | WOS:000964967500008 |
| Scopus: | 2-s2.0-85152695502 |
| OpenAlex: | W4362674182 |