Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур

Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур Тезисы доклада

Конференция

IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 сент. 2023 , Махачкала

Сборник

IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов
Сборник, Издательство ДГУ. г. Махачкала, ул. М. Ярагского, 59е.2023. 122 c. ISBN 9785991302791.

Вых. Данные

Год: 2023, Страницы: 94 Страниц : 1

Авторы

Петухова Дарья Евгеньевна ¹ , Афонин Михаил Юрьевич ¹ , Сартакова Анастасия Вячеславовна ¹ , Сысоев Сергей Викторович ¹ , Викулова Евгения Сергеевна ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

The thermal stability and volatility of tetrakis(ethylmethylamido)hafnium (Hf(NEtMe)4, TEMAH) and tris(methylcyclopentadienyl)scandium (Sc(MeCp)3) were investigated. The decomposition of TEMAH in the condensed phase was shown to be below 0.1% after being held at T=393 K during 28 days. In the case of Sc(MeCp)3, the decomposition reaches ~50% after exposure at 483 K during 7 days. This compound vapor pressures is close to those of non-fluorinated scandium β-diketonates. The results of this study could be useful for the development of ALD processes for obtaining mixed and individual oxide structures.

Петухова Д.Е. , Афонин М.Ю. , Сартакова А.В. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур
В сборнике IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.94. – ISBN 9785991302791.

Нет идентификаторов

Пока нет цитирований