Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур

Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур Conference Abstracts

Conference

IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 Sep 2023 , Махачкала

Source

IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов
Compilation, Издательство ДГУ. г. Махачкала, ул. М. Ярагского, 59е.2023. 122 c. ISBN 9785991302791.

Output data

Year: 2023, Pages: 94 Pages count : 1

Authors

Petukhova Darʹya Evgenʹevna ¹ , Afonin Mikhail Yurʹevich ¹ , Sartakova Anastasiya Vyacheslavovna ¹ , Sysoev Sergei Viktorovich ¹ , Vikulova Evgeniya Sergeevna ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

The thermal stability and volatility of tetrakis(ethylmethylamido)hafnium (Hf(NEtMe)4, TEMAH) and tris(methylcyclopentadienyl)scandium (Sc(MeCp)3) were investigated. The decomposition of TEMAH in the condensed phase was shown to be below 0.1% after being held at T=393 K during 28 days. In the case of Sc(MeCp)3, the decomposition reaches ~50% after exposure at 483 K during 7 days. This compound vapor pressures is close to those of non-fluorinated scandium β-diketonates. The results of this study could be useful for the development of ALD processes for obtaining mixed and individual oxide structures.

Петухова Д.Е. , Афонин М.Ю. , Сартакова А.В. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур
In compilation IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.94. – ISBN 9785991302791.

No identifiers

Пока нет цитирований