Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур - Доклады на конференциях

Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Стендовый

Конференция

IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 сент. 2023 , Махачкала

Авторы

Петухова Д.Е. ¹ , Афонин М.Ю. ¹ , Сартакова А.В. ¹ , Сысоев С.В. ¹ , Викулова Е.С. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

The thermal stability and volatility of tetrakis(ethylmethylamido)hafnium (Hf(NEtMe)4, TEMAH) and tris(methylcyclopentadienyl)scandium (Sc(MeCp)3) were investigated. The decomposition of TEMAH in the condensed phase was shown to be below 0.1% after being held at T=393 K during 28 days. In the case of Sc(MeCp)3, the decomposition reaches ~50% after exposure at 483 K during 7 days. This compound vapor pressures is close to those of non-fluorinated scandium β-diketonates. The results of this study could be useful for the development of ALD processes for obtaining mixed and individual oxide structures.

Петухова Д.Е. , Афонин М.Ю. , Сартакова А.В. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023