Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур - Conference attendances

Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Стендовый

Conference

IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 Sep 2023 , Махачкала

Authors

Петухова Д.Е. ¹ , Афонин М.Ю. ¹ , Сартакова А.В. ¹ , Сысоев С.В. ¹ , Викулова Е.С. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

The thermal stability and volatility of tetrakis(ethylmethylamido)hafnium (Hf(NEtMe)4, TEMAH) and tris(methylcyclopentadienyl)scandium (Sc(MeCp)3) were investigated. The decomposition of TEMAH in the condensed phase was shown to be below 0.1% after being held at T=393 K during 28 days. In the case of Sc(MeCp)3, the decomposition reaches ~50% after exposure at 483 K during 7 days. This compound vapor pressures is close to those of non-fluorinated scandium β-diketonates. The results of this study could be useful for the development of ALD processes for obtaining mixed and individual oxide structures.

Петухова Д.Е. , Афонин М.Ю. , Сартакова А.В. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023