Тонкие плёнки Ti-Sc-O и Ti-Sm-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения: влияние состава на структуру и оптические свойства - Conference attendances

Тонкие плёнки Ti-Sc-O и Ti-Sm-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения: влияние состава на структуру и оптические свойства Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум»
04-10 Jul 2025 , Улан-Удэ

Authors

Петухова Д Е ¹ , Викулова Е С ¹ , Лебедев М С ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Петухова Д.Е. , Викулова Е.С. , Лебедев М.С.
Тонкие плёнки Ti-Sc-O и Ti-Sm-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения: влияние состава на структуру и оптические свойства
Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум» 04-10 июл. 2025