ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ

ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ Научная публикация

Журнал

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Вых. Данные

Год: 2025, Том: 66, Номер: 2, Номер статьи : 140578, Страниц : 12 DOI: 10.26902/JSC_id140578

Ключевые слова

диоксид титана, атомно-слоевое осаждение, тонкие пленки, отжиг, анатаз, рутил

Авторы

Хижняк Е.А. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹ , Корольков И.В. ¹ , Дудкина С.П. ¹ , Гейдт П.В. ² , Лебедев М.С. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2	Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия

Методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды получены пленки TiO2. Установлено изменение фазового состава пленок при изменении температур осаждения и отжига. При температуре осаждения 150 °C образуются аморфные пленки, при температурах 200-400 °С – пленки, содержащие фазу анатаза, при более высоких температурах (450 и 500 °C) – пленки, содержащие смесь фаз анатаза и рутила. Отжиг высокотемпературных пленок при температурах 400 и 500 °C приводит к увеличению относительной интенсивности рефлексов рутила. Методами растровой электронной микроскопии и атомно-силовой микроскопии исследована морфология пленок. С ростом температуры осаждения наблюдается увеличение размера зерен на поверхности пленок.

Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Корольков И.В. , Дудкина С.П. , Гейдт П.В. , Лебедев М.С.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №2. 140578 :1-12. DOI: 10.26902/JSC_id140578 OpenAlex

Khizhnyak E.A. , Shayapov V.R. , Korolkov I.V. , Dudkina S.P. , Geydt P.V. , Lebedev M.S.
EFFECT OF DEPOSITION AND ANNEALING TEMPERATURES ON THE PHASE COMPOSITION OF TiO2 FILMS OBTAINED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION FROM TITANIUM TETRACHLORIDE AND WATER
Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N2. P.293-303. DOI: 10.1134/S0022476625020088 WOS OpenAlex

Поступила в редакцию:	16 апр. 2024 г.
Принята к публикации:	5 нояб. 2024 г.

OpenAlex:

W4404151097

Пока нет цитирований