Sciact
  • EN
  • RU

ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ Научная публикация

Журнал Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Вых. Данные Год: 2025, Том: 66, Номер: 2, Номер статьи : 140578, Страниц : 12 DOI: 10.26902/JSC_id140578
Ключевые слова диоксид титана, атомно-слоевое осаждение, тонкие пленки, отжиг, анатаз, рутил
Авторы Хижняк Е.А. 1 , Шаяпов В.Р. 1 , Корольков И.В. 1 , Дудкина С.П. 1 , Гейдт П.В. 2 , Лебедев М.С. 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2 Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия

Реферат: Методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды получены пленки TiO2. Установлено изменение фазового состава пленок при изменении температур осаждения и отжига. При температуре осаждения 150 °C образуются аморфные пленки, при температурах 200-400 °С – пленки, содержащие фазу анатаза, при более высоких температурах (450 и 500 °C) – пленки, содержащие смесь фаз анатаза и рутила. Отжиг высокотемпературных пленок при температурах 400 и 500 °C приводит к увеличению относительной интенсивности рефлексов рутила. Методами растровой электронной микроскопии и атомно-силовой микроскопии исследована морфология пленок. С ростом температуры осаждения наблюдается увеличение размера зерен на поверхности пленок.
Библиографическая ссылка: Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Корольков И.В. , Дудкина С.П. , Гейдт П.В. , Лебедев М.С.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №2. 140578 :1-12. DOI: 10.26902/JSC_id140578 OpenAlex
Переводная: Khizhnyak E.A. , Shayapov V.R. , Korolkov I.V. , Dudkina S.P. , Geydt P.V. , Lebedev M.S.
EFFECT OF DEPOSITION AND ANNEALING TEMPERATURES ON THE PHASE COMPOSITION OF TiO2 FILMS OBTAINED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION FROM TITANIUM TETRACHLORIDE AND WATER
Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N2. P.293-303. DOI: 10.1134/S0022476625020088 WOS OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 16 апр. 2024 г.
Принята к публикации: 5 нояб. 2024 г.
Идентификаторы БД:
OpenAlex: W4404151097
Цитирование в БД: Пока нет цитирований
Альметрики: