Abstract: Методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды получены пленки TiO2. Установлено изменение фазового состава пленок при изменении температур осаждения и отжига. При температуре осаждения 150 °C образуются аморфные пленки, при температурах 200-400 °С – пленки, содержащие фазу анатаза, при более высоких температурах (450 и 500 °C) – пленки, содержащие смесь фаз анатаза и рутила. Отжиг высокотемпературных пленок при температурах 400 и 500 °C приводит к увеличению относительной интенсивности рефлексов рутила. Методами растровой электронной микроскопии и атомно-силовой микроскопии исследована морфология пленок. С ростом температуры осаждения наблюдается увеличение размера зерен на поверхности пленок.

Cite: Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Корольков И.В. , Дудкина С.П. , Гейдт П.В. , Лебедев М.С.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №2. 140578 :1-12. DOI: 10.26902/JSC_id140578 OpenAlex

Translated: Khizhnyak E.A. , Shayapov V.R. , Korolkov I.V. , Dudkina S.P. , Geydt P.V. , Lebedev M.S.
EFFECT OF DEPOSITION AND ANNEALING TEMPERATURES ON THE PHASE COMPOSITION OF TiO2 FILMS OBTAINED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION FROM TITANIUM TETRACHLORIDE AND WATER
Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N2. P.293-303. DOI: 10.1134/S0022476625020088 WOS OpenAlex

Dates:

Submitted:	Apr 16, 2024
Accepted:	Nov 5, 2024

Identifiers:

OpenAlex:

W4404151097

Citing: Пока нет цитирований

Altmetrics: