Особенности роста и структуры пленок оксида самария, полученных попеременной обработкой поверхности парами трис-изопропилциклопентадиенила самария (III) и воды Доклады на конференциях
| Язык | Русский | ||
|---|---|---|---|
| Тип доклада | Устный | ||
| Url доклада | https://www.niic.nsc.ru/component/phocadownload/category/102-konferentsii?download=4179:2026-sbornik-cvd-8 | ||
| Конференция |
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 февр. 2026 , Новосибирск |
||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Лебедев М.С.
Особенности роста и структуры пленок оксида самария, полученных попеременной обработкой поверхности парами трис-изопропилциклопентадиенила самария (III) и воды
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 февр. 2026
Особенности роста и структуры пленок оксида самария, полученных попеременной обработкой поверхности парами трис-изопропилциклопентадиенила самария (III) и воды
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 февр. 2026