Особенности роста и структуры пленок оксида самария, полученных попеременной обработкой поверхности парами трис-изопропилциклопентадиенила самария (III) и воды - Conference attendances

Особенности роста и структуры пленок оксида самария, полученных попеременной обработкой поверхности парами трис-изопропилциклопентадиенила самария (III) и воды Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

URL

https://www.niic.nsc.ru/component/phocadownload/category/102-konferentsii?download=4179:2026-sbornik-cvd-8

Conference

Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
02-04 Feb 2026 , Новосибирск

Authors

Лебедев М.С. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Лебедев М.С.
Особенности роста и структуры пленок оксида самария, полученных попеременной обработкой поверхности парами трис-изопропилциклопентадиенила самария (III) и воды
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 февр. 2026