ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ - Доклады на конференциях

ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Стендовый

Конференция

Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
11-13 июл. 2022 , Новосибирск, Лаврентьева, 3

Авторы

Хижняк Е.А. ^1,2 , Шаяпов В.Р. ^1,2 , Лебедев М.С. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
2	Новосибирский государственный технический университет

Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С.
ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022