ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ - Conference attendances

ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Стендовый

Conference

Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
11-13 Jul 2022 , Новосибирск, Лаврентьева, 3

Authors

Хижняк Е.А. ^1,2 , Шаяпов В.Р. ^1,2 , Лебедев М.С. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
2	Novosibirsk State Technical University

Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С.
ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022