Молекулярное наслаивание пленок в системе Zr-Ti-O Доклады на конференциях
| Язык | Русский | ||
|---|---|---|---|
| Тип доклада | Устный | ||
| Конференция |
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024 , Новосибирск |
||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Лебедев М.С.
Молекулярное наслаивание пленок в системе Zr-Ti-O
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
Молекулярное наслаивание пленок в системе Zr-Ti-O
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024