Sciact
  • EN
  • RU

Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда Тезисы доклада

Конференция XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 сент. 2024 , Санкт-Петербург
Сборник Сборник тезисов XIII Всероссийской конференции с международным участием "Химия твердого тела и функциональные материалы - 2024"
Сборник, 2024.
Вых. Данные Год: 2024, Страницы: 419 Страниц : 1
Авторы Шаяпов Владимир Равильевич 1 , Чагин Максим Николаевич 1 , Дудкина Софья Павловна 1 , Суляева Вероника Сергеевна 1 , Ермакова Евгения Николаевна 1 , Косинова Марина Леонидовна 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
Библиографическая ссылка: Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Суляева В.С. , Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда
В сборнике Сборник тезисов XIII Всероссийской конференции с международным участием "Химия твердого тела и функциональные материалы - 2024". 2024. – C.419.
Идентификаторы БД: Нет идентификаторов
Цитирование в БД: Пока нет цитирований