Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда

Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда Conference Abstracts

Conference

XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 Sep 2024 , Санкт-Петербург

Source

Сборник тезисов XIII Всероссийской конференции с международным участием "Химия твердого тела и функциональные материалы - 2024"
Compilation, 2024.

Output data

Year: 2024, Pages: 419 Pages count : 1

Authors

Shayapov Vladimir Ravilʹevich ¹ , Chagin Maksim Nikolaevich ¹ , Dudkina Sofʹya Pavlovna ¹ , Sulyaeva Veronika Sergeevna ¹ , Ermakova Evgeniya Nikolaevna ¹ , Kosinova Marina Leonidovna ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Суляева В.С. , Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда
In compilation Сборник тезисов XIII Всероссийской конференции с международным участием "Химия твердого тела и функциональные материалы - 2024". 2024. – C.419.

No identifiers

Пока нет цитирований