Sciact
  • EN
  • RU

Применение оптической эмиссионной спектроскопии в исследовании процессов плазмохимического осаждения пленок из паров кремнийорганических соединений Доклады на конференциях

Язык Русский
Тип доклада Устный
Url доклада https://www.binm.ru/books/2025/%D0%91%D0%9C%D0%A42025.pdf
Конференция Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум»
04-10 июл. 2025 , Улан-Удэ
Авторы Шаяпов В.Р. 1 , Ермакова Е.Н. 1 , Плеханов А.Г. 1 , Чагин М.Н. 1 , Дудкина С.П. 1 , Косинова М.Л. 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
Библиографическая ссылка: Шаяпов В.Р. , Ермакова Е.Н. , Плеханов А.Г. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Косинова М.Л.
Применение оптической эмиссионной спектроскопии в исследовании процессов плазмохимического осаждения пленок из паров кремнийорганических соединений
Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум» 04-10 июл. 2025