Применение оптической эмиссионной спектроскопии в исследовании процессов плазмохимического осаждения пленок из паров кремнийорганических соединений - Conference attendances

Применение оптической эмиссионной спектроскопии в исследовании процессов плазмохимического осаждения пленок из паров кремнийорганических соединений Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

URL

https://www.binm.ru/books/2025/%D0%91%D0%9C%D0%A42025.pdf

Conference

Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум»
04-10 Jul 2025 , Улан-Удэ

Authors

Шаяпов В.Р. ¹ , Ермакова Е.Н. ¹ , Плеханов А.Г. ¹ , Чагин М.Н. ¹ , Дудкина С.П. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Шаяпов В.Р. , Ермакова Е.Н. , Плеханов А.Г. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Косинова М.Л.
Применение оптической эмиссионной спектроскопии в исследовании процессов плазмохимического осаждения пленок из паров кремнийорганических соединений
Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум» 04-10 июл. 2025