Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD - Доклады на конференциях

Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024 , Новосибирск

Авторы

Ермакова Евгения Николаевна ¹ , Чагин Максим Николаевич ¹ , Дудкина Софья Павловна ¹ , Шаяпов Владимир Равильевич ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Ермакова Е.Н. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Шаяпов В.Р.
Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024