Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD - Conference attendances

Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 Feb 2024 , Новосибирск

Authors

Ermakova Evgeniya Nikolaevna ¹ , Chagin Maksim Nikolaevich ¹ , Dudkina Sofʹya Pavlovna ¹ , Shayapov Vladimir Ravilʹevich ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Ермакова Е.Н. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Шаяпов В.Р.
Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024