Состав и свойства пленок, получаемых методом плазмохимического осаждения из смеси гексаметилдисилана и аммиака - Доклады на конференциях

Состав и свойства пленок, получаемых методом плазмохимического осаждения из смеси гексаметилдисилана и аммиака Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Стендовый

Конференция

XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 сент. 2024 , Санкт-Петербург

Авторы

Ермакова Е.Н. ¹ , Хижняк Е.А. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Ермакова Е.Н. , Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, получаемых методом плазмохимического осаждения из смеси гексаметилдисилана и аммиака
XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024