Состав и свойства пленок, получаемых методом плазмохимического осаждения из смеси гексаметилдисилана и аммиака - Conference attendances

Состав и свойства пленок, получаемых методом плазмохимического осаждения из смеси гексаметилдисилана и аммиака Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Стендовый

Conference

XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 Sep 2024 , Санкт-Петербург

Authors

Ермакова Е.Н. ¹ , Хижняк Е.А. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Ермакова Е.Н. , Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, получаемых методом плазмохимического осаждения из смеси гексаметилдисилана и аммиака
XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024